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J-GLOBAL ID：202102261025037386   整理番号：21A0834262

センサー用直交フォトリソグラフィーを介して構成された相補金属酸化半導体(CMOS)材料上の薄膜有機フォトダイオード

Thin Film Organic Photodiodes on Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS) Materials Structured via Orthogonal Photolithography for Sensor Applications.

著者 (5件)： JAHNEL Matthias (Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  SCHOBER Matthias (Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  FEHSE Karsten (Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  HILD Olaf (Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  VOGEL Uwe (Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM))
巻： 23rd  ページ： ROMBUNNO.FMC6-2  発行年： 2016年12月06日 
JST資料番号： L4269B  ISSN： 1883-2504  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・本研究では,薄膜カプセル化と組み合わせて200mmシリコンウエハに統合された有機光検出器を構成するための簡単で安価な方法を紹介。
・光センサーおよび有機光検出器アプリケーションのために,直交フォトリソグラフィーで構成された,新しいトップ吸収有機光検出器を説明。

シソーラス用語： *光センサ ,  *フォトリソグラフィー ,  *CMOS ,  *薄膜 ,  *フォトダイオード ,  ウエハ【IC】 ,  光検出器 ,  有機材料 ,  直交性
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *有機フォトダイオード

分類 (2件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F) ,  光導電素子  (NC03083X)

引用文献 (2件)：

• Zakhidov, A. A., Lee, J.-K., Fong, H. H., DeFranco, J. A., Chatzichristidi, M., Taylor, P. G., Ober, C. K. Malliaras, G. G. Hydrofluoroethers as Orthogonal Solvents for the Chemical Processing of Organic Electronic Materials. Adv. Mater., 20, (2008) 3481-3484.
• Ning and Lassiter, Brian E. and Lunt, Richard R. and Wei, Guodan and Forrest, Stephen R., Applied Physics Letters, 94, (2009) 023307

タイトルに関連する用語 (6件)： センサー ,  フォトリソグラフィー ,  金属酸化半導体 ,  CMOS ,  薄膜 ,  有機フォトダイオード