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J-GLOBAL ID：202102264148842280   整理番号：21A1775374

凝縮パターンに及ぼす金属薄膜と表面のミクロ構造の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Thin Metal Film and Micro Structure of Surface on Condensation Pattern

著者 (4件)： Nishimura Tomohito (Kogakuin University, Hachioji, Japan) ,  Mikoshiba Yuki (Kogakuin University, Hachioji, Japan) ,  Ohtake Hiroyasu (Kogakuin University, Hachioji, Japan) ,  Hasegawa Koji (Kogakuin University, Hachioji, Japan)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： ICONE25  ページ： Null  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水凝縮は,蒸気発電所と冷蔵庫の凝縮器や熱交換器のような広範囲の工業システムにとって重要である。凝縮は一般的に2つのパターンを持つ。フィルム状凝縮(FWC)と滴状凝縮(DWC)。DWCは,FWCより1/10高い熱伝達係数を有した。多くの研究者によって,DWCが疎水性表面上で生じ,FWCが親水性表面上で起こることが指摘されている。しかし,それらの疎水性効果の耐久性は十分明確ではなかった。十分に長いDWCを維持するために,より詳細に凝縮表面に及ぼす表面特性と構造の影響を理解することが重要である。MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)技術の最近の進歩は,マイクロスケールでの物理的性質を変えることを可能にした。MEMS技術による疎水性表面はDWCを長時間維持することが期待される。本論文では,凝縮パターンに及ぼす薄い金属膜と微細構造表面の影響を実験的に研究した。特に,この凝縮実験を,エッチングと金属薄膜表面を用いて,約24時間のスパッタリングにより,微細構造表面で行った。シリコン(Si)ウエハを基本表面として使用した。金属薄膜表面に対して,Si表面にスパッタした鉛(Pb)とチタン(Ti)を用いた。微細構造表面に対して,微細構造格子をいくつかの条件でSi表面にエッチングした。凝縮パターンと表面状態の間の関係を得るために,表面条件をレーザ顕微鏡,接触角計および原子間力顕微鏡(AFM)で測定した。金属薄膜表面では,薄いPb膜表面の凝縮パターンはDWCを示した。一方,薄いTi表面上の凝縮パターンは,FWCを示した。この結果から,吸着力は,Pbに対するDWCの接触角の増加と共に低下した。一方,吸着力は,TiのFWCの接触角の減少と共に増加した。微細構造表面では,凝縮パターンはFWCであり,接触角は実験結果で減少した。これは,凝縮水が微細構造表面の溝に蓄積されるためである。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  *凝縮 ,  接触角 ,  鉛 ,  滴状凝縮 ,  熱交換器 ,  熱伝達率 ,  ケイ素 ,  チタン ,  親水性 ,  疎水性 ,  *金属薄膜 ,  原子間力顕微鏡 ,  MEMS
準シソーラス用語： 吸着能力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 相変化を伴う熱伝達  (PA02040V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 凝縮 ,  金属薄膜 ,  ミクロ構造