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J-GLOBAL ID：202102266282433136   整理番号：21A0697653

N極性面AlNおよびAlGaN/AlNヘテロ構造の結晶成長と評価

Growth and evaluation of N-polar AlN and AlGaN / AlN hetero-structures

著者 (7件)： 伊藤忠寿 (山口大 院創成科学研究科) ,  安高和哉 (山口大 院創成科学研究科) ,  坂本凌太 (山口大 院創成科学研究科) ,  YAO Y. (ファインセラミックスセ) ,  石川由加里 (ファインセラミックスセ) ,  岡田成仁 (山口大 院創成科学研究科) ,  只友一行 (山口大 院創成科学研究科)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.11p-Z02-16  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 近年、AlGaN/GaN構造を用いた高電子移動度トランジスタ(HEMT)は高周波デバイスとして、アンテナや自動車用レーダに使用され、注目されている。更にHEMTの性能をより向上させるには、新たな構造の開発が必要不可欠である。我々はAlGaN...【本文一部表示】

シソーラス用語： エッチング ,  *結晶成長 ,  不純物 ,  *アルミニウム ,  アンモニア ,  パルス ,  サファイア ,  *窒化アルミニウム ,  *窒化ガリウム ,  MOCVD ,  HEMT ,  原子間力顕微鏡 ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： *ヘテロ構造 ,  *窒化アルミニウムガリウム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 極性 ,  AlN ,  AlGaN ,  ヘテロ構造 ,  結晶成長 ,  評価