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J-GLOBAL ID:202102268323265667   整理番号:21A2376511

反射画像の線ぼけ関数からの高精度表面の粗さ推定【JST・京大機械翻訳】

Roughness estimation of high-precision surfaces from line blur functions of reflective images
著者 (6件):
資料名:
巻: 182  ページ: Null  発行年: 2021年 
JST資料番号: W0315B  ISSN: 0263-2241  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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より粗い表面がぼやけ反射画像を生成するという観察に触発されて,このような表面から反射されたエッジのラインぼけ関数(LBF)による新しい粗さ推定法を提案した。最初に,点ぼけ関数(PBF)を点ぼけ機構に基づく表面粗さベースによって決定し,数学的にLBFがエッジの垂直方向における対応PBFから誘導できることを明らかにした。次に,LBFに適合するGauss曲線の分散を,スタイラス形状測定で測定した表面粗さに写像した。最後に,この写像線形関数を試験試料の粗さを測定するために適用した。実験結果は,粗さが0.29μm未満であるとき,提案方法は精度においてスタイラス法と同等か,またはより高く,簡便性,高効率,および非接触の利点を持っていることを示した。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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著者キーワード (4件):
分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  図形・画像処理一般 
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