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J-GLOBAL ID：202102271272778223   整理番号：21A3135385

パッケージング非対称性に起因する微細加工熱風センサのベンチマークドリフトの解析と補償【JST・京大機械翻訳】

Analysis and Compensation of Benchmark Drift of Micromachined Thermal Wind Sensor Caused by Packaging Asymmetry

著者 (7件)： Wang Zhenjun (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Yi Zhenxiang (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Tian Run (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Qin Ming (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Huang Qing-An (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Zhou Zai-Fa (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Long Kevin (Chuandong Magnetic Electronics Company, Ltd., Foshan, China)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 69  号： 1  ページ： 950-959  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,パッケージング非対称性による微細加工熱風センサのベンチマークドリフトを解析し,補償した。対称包装を有する理想的な風センサのために,ベンチマークは速度と方向によって変化しなかった。しかし,実際のセンサでは,特に手作りのものには,包装非対称性問題は通常避けられない。その結果,各方向における異なる熱分布のため,風によるベンチマークドリフトは,提案した集中定数モデルによって検証された。実際のセンサを風洞で試験し,結果はベンチマークドリフトを示した。本研究の貢献は風速に依存するベンチマークの方程式の確立にあり,ゼロ風速でのキャリブレーションによって異なる風速の下でベンチマーク値を予測できる。この補償法は,工業生産にとって非常に簡単で便利である。補償の後,相対風速誤差は30m/sまで46から8%まで減少して,風方向誤差は360°の全範囲に関して30°から7°に減少した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *対称性 ,  風洞 ,  風速 ,  *ドリフト ,  非対称性 ,  センサ ,  *微細加工 ,  *ベンチマーク ,  工業生産
準シソーラス用語： 熱風 ,  集中定数モデル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 風力発電  (NB03120Q)

タイトルに関連する用語 (9件)： パッケージング ,  非対称性 ,  起因 ,  微細加工 ,  熱風 ,  ベンチマーク ,  ドリフト ,  解析 ,  補償