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J-GLOBAL ID:202102271917830766   整理番号:21A1278383

ナノ秒パルスレーザを用いた超疎水性表面のための2スケール周期構造の直接レーザプロセシング【JST・京大機械翻訳】

Direct Laser Processing of Two-Scale Periodic Structures for Superhydrophobic Surfaces Using a Nanosecond Pulsed Laser
著者 (4件):
資料名:
巻:号:ページ: 496-512  発行年: 2020年 
JST資料番号: W4688A  ISSN: 2196-7229  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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階層構造は超疎水性表面に対する有望な形状であるが,1パスと迅速処理の両方が可能な単一レーザ光源による加工法は確立されていない。本研究の目的は超疎水性を示す2スケール周期構造の直接レーザ加工の概念を提案することであった。拡張プラズマにより生じ,マイクロホールの周りにスクイーズされる溶融材料は,2スケール周期構造の処理において,能動的役割を果たすと仮定した。ナノ秒パルスレーザ(532nm波長)を用いた衝撃ドリル加工を鋼表面で行った。パラメータとして,ピッチ(16~120μm),繰返しショット数(1~120),フルエンス(2.49~20J/cm2)を用いて24種の試験ピースを作製した。その結果,銀行形外縁を有するマイクロ孔が形成された。最大見かけの接触角は161.4°であり,接触角ヒステリシスは80μmと20反復ショットのピッチに対して4.2°であった。見かけの接触角の計算結果は測定結果と一致した。最後に,処理速度を推定するための方程式を提案した。この直接処理方法が823mm2/minの最大処理速度を達成できることを示した。Copyright The Author(s) 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  レーザ照射・損傷 

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