文献

J-GLOBAL ID：202102273179293869   整理番号：21A1821647

バンプウエハ用のUV硬化性感圧接着剤の剥離挙動の研究【JST・京大機械翻訳】

Investigation of Peeling Behavior of UV Curable Pressure Sensitive Adhesive for Bump-Wafer

著者 (4件)： Saiki Naoya (Lintec Corporation, Saitama, Japan) ,  Komasu Yuichiro (Lintec Corporation, Saitama, Japan) ,  Aizawa Kazuto (Lintec Corporation, Saitama, Japan) ,  Maeda Jun (Lintec Corporation, Saitama, Japan)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： InterPACK2017  ページ： Null  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,バンプウエハからのUV硬化性感圧接着剤テープの剥離プロセスを,有限要素解析,高速ビデオの観察,および実際のウエハバック研削プロセス試験を用いて調べた。実験では,高速度顕微鏡ビデオで観察するとき,バンプの底面の端部で,接着剤の大きな変形が観察され,バンプの反対側に,逆テープ剥離方向が現れた。大きく変形した接着剤は,ストリング形状の伸びを生じた。接着剤残留物は,接着剤ストリングの破壊によって引き起こされる。有限要素解析を用いてテープ剥離過程で接着ストリングを生成する方法を検討した。この解析では,粘着性要素を接着層に導入した。解析結果は,同じ位置の実験と応力分布が,接着剤のストリング部分と他の領域の間で異なることを示した。また,剥離角とバンプサイズの影響を,同じ有限要素モデルによって研究した。その結果,より高い剥離角とより小さなバンプサイズはより短い接着ストリングを示し,それは接着残留物のリスクを低下させる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *接着 ,  *接着剤 ,  研削 ,  *感圧接着剤 ,  録画装置 ,  応力分布 ,  *バンプ
準シソーラス用語： 粘着性 ,  有限要素解析 ,  FEMモデル ,  紫外線硬化 ,  接着層 ,  高速ビデオ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 接着剤の性質・試験  (YK02000Q) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： バンプ ,  ウエハ ,  UV硬化 ,  感圧接着剤 ,  挙動 ,  研究