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J-GLOBAL ID：202102273733822540   整理番号：21A2571695

マイクロラジアン範囲でのピコラジアン分解能とナノラジアン精度を有する2D角アクチュエータの特性評価のためのセンサ【JST・京大機械翻訳】

Sensor for the Characterization of 2D Angular Actuators with Picoradian Resolution and Nanoradian Accuracy with Microradian Range

著者 (4件)： Pisani Marco (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, INRIM, 10135 Torino, Italy) ,  Astrua Milena (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, INRIM, 10135 Torino, Italy) ,  Raj Srijith Bangaru Thirumalai (Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, INRIM, 10135 Torino, Italy) ,  Raj Srijith Bangaru Thirumalai (Politecnico di Torino, 10129 Torino, Italy)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 20  号： 24  ページ： 7034  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度角アクチュエータは,フォトリソグラフィー用のレーザステアリングのような高要求用途に使用される。Piezo技術は,数キロヘルツという高い帯域幅で,少数のナノラジアンのような分解能を有するアクチュエータの開発を可能にする。多くの要求用途において,これらの機器の実際の性能は特性化する必要がある。今日利用可能な最良の角度測定装置は,これらのニーズを満たすための十分な分解能および/または帯域幅ではない。Istituto Nazionale di Ricerca Metrologyaにおいて,INRIMは,市場で最良のデバイスを凌駕する分解能を有する精密2D角アクチュエータの特性化を目的として設計され,構築された。このデバイスは,たわみ角を70倍掛ける多重反射方式に基づいている。デバイスの極限分解能は,測定帯域>10kHzで36radの測定範囲で2prad/Hzであった。本研究では,作動原理,実際の実現,およびトップレベルの商用角アクチュエータ(Mad City Labsによって製造されたNano-MTA2)に関する事例研究について述べた。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： コリメータ ,  たわみ ,  分解能 ,  符号器 ,  アクチュエータ ,  帯域幅 ,  *二次元 ,  事例研究 ,  センサ ,  キャラクタリゼーション ,  多重反射 ,  周波数帯 ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： 高精度 ,  動作原理 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 角度アクチュエータ ,  角度センサ ,  エンコーダ ,  自動コリメータ

分類 (3件)： 計算機システム開発  (JD02010R) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  電動機  (NB07030U)

引用文献 (11件)：

• Alcocka, S.G.; Bugnar, A.; Nistea, I.; Sawhney, K.; Scott, S.; Hillman, M.; Grindrod, J.; Johnson, I. A novel instrument for generating angular increments of 1 nanoradian. Rev. Sci. Instrum. 2015, 86, 125108.
• Yandayan, T.; Ozgur, B.; Karaboce, N.; Yaman, O. High precision small angle generator for realization of the SI unit of plane angle and calibration of high precision autocollimators. Meas. Sci. Technol. 2012, 23, 094006.
• Pisani, M.; Astrua, M. The new INRIM nanoangle generator. Metrologia 2009, 46, 674.
• Shu, D.; Lee, W.K.; Liu, W.; Ice, G.E.; Shvyd’ko, Y.; Kim, K.J. Development and application of a two-dimensional tip-tilting stage system with nanoradian-level positioning resolution. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 2011, 649, 114-117.
• Tan, X.; Zhu, F.; Wang, C.; Yu, Y.; Shi, J.; Qi, X.; Yuan, F.; Tan, J. Two-Dimensional Micro-/Nanoradian Angle Generator with High Resolution and Repeatability Based on Piezo-Driven Double-Axis Flexure Hinge and Three Capacitive Sensors. Sensors 2017, 17, 2672.

タイトルに関連する用語 (5件)： ラジアン ,  分解能 ,  2D ,  アクチュエータ ,  特性評価