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J-GLOBAL ID：202102273839100316   整理番号：21A2526776

線形段の5自由度誤差運動の同時測定のためのレーザ測定システムの誤差解析と補償【JST・京大機械翻訳】

Error Analysis and Compensation of a Laser Measurement System for Simultaneously Measuring Five-Degree-of-Freedom Error Motions of Linear Stages

著者 (4件)： Cai Yindi ,  Sang Qi ,  Lou Zhi-Feng ,  Fan Kuang-Chao
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 18  ページ： 3833  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 線形ステージの5自由度(5DOF)誤差運動を同時に測定するためのセンサヘッドと検出部分からなるロバストレーザ測定システム(LMS)を提案し,特性化した。長距離測定の目的で,測定精度に影響する可能性のある全ての可能な誤差源を考察した。このLMSは,レーザビームドリフト,ビームスポット変動,検出器感度変化,および著者グループによって解決された二重ビームの非並列性に対する誤差補償の利点を統合するだけでなく,本研究では5自由度誤差運動間のクロストーク誤差をも除去する。設計したLMSと修正測定モデルの実現可能性と有効性を,実験室構築プロトタイプを用いて実験的に検証した。実験結果は,設計したLSMが,サブマイクロメータの直線誤差精度と補償後のサブアークの角度誤差精度で,1メートル移動までの線形ステージの5DOF誤差運動を同時に測定する能力を持つことを示した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体レーザ ,  マイクロメータ ,  *誤差解析 ,  ドリフト ,  レーザビーム ,  線形性 ,  *自由度 ,  キャラクタリゼーション ,  有効性 ,  *同時計測 ,  計測システム ,  クロストーク ,  プロトタイプ
準シソーラス用語： ビームスポット ,  誤差補償 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： レーザダイオード ,  多自由度測定 ,  エラー運動 ,  線形ステージ

分類 (3件)： 生体計測  (EL03020C) ,  磁電デバイス  (NC03100X) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (23件)：

• Ni, J.; Wu, S.M. An On-Line Measurement Technique for Machine Volumetric Error Compensation. J. Eng. Ind. 1993, 115, 85-92.
• Chen, B.; Cheng, L.; Yan, L.; Zhang, E.; Lou, Y. A heterodyne straightness and displacement measuring interferometer with laser beam drift compensation for linear stage metrology. Rev. Sci. Instrum. 2017, 88, 035114.
• Feng, W.L.; Yao, X.D.; Azamat, A.; Yang, J.G. Straightness error compensation for large CNC gantry type milling centers based on B-spline curves modeling. Int. J. Mach. Tools Manuf. 2015, 88, 165-174.
• Cai, Y.; Lou, Z.; Ling, S.; Liao, B.S.; Fan, K.C. Development of a compact three-degree-of-freedom laser measurement system with self-wavelength correction for displacement feedback of a nanopositioning stage. Appl. Sci. 2018, 8, 2209.
• Okafor, A.C.; Ertekin, Y.M. Vertical machining center accuracy characterization using laser interferometer, part one: Linear positional errors. J. Mater. Process. Technol. 2000, 105, 394-406.

タイトルに関連する用語 (9件)： 線形 ,  5自由度 ,  誤差 ,  運動 ,  同時測定 ,  レーザ ,  測定システム ,  誤差解析 ,  補償