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J-GLOBAL ID：202102274031976337   整理番号：21A0410560

マグネトロンスパッタリング法で調製したMoOx薄膜の材料特性【JST・京大機械翻訳】

Properties of MoOx thin films prepared by magnetron sputtering

著者 (3件)： Wang Xiaokun (合肥京東方光電科技有限公司,安徽 合肥 230012) ,  Pang Weihua (合肥京東方光電科技有限公司,安徽 合肥 230012) ,  Liu Fei (合肥京東方光電科技有限公司,安徽 合肥 230012)
資料名： Yejing yu Xianshi  (Yejing yu Xianshi)
巻： 35  号： 3  ページ： 211-218  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1519A  ISSN： 1007-2780  CODEN： YYXIFY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MoOx材料は,その低い反射率のため,狭いサイドフレーム液晶ディスプレイ技術の分野で理想的な材料である。MoOx薄膜をマグネトロンスパッタリングによりガラス基板上に蒸着し,MoOx薄膜上に異なる金属層を堆積し,MoOx薄膜と金属層の特性を異なる方法で調べた。試験結果は以下のことを示した。MoOxとガラス基板との接着性は良好で,ガラス基板上への基板直接堆積は不要であった。MoOxとAlとCuの接着効果はMoとMTDなどのMo合金より優れていた。MoOx薄膜のシート抵抗値は大きく、金属層を重ねると、無視できる。MoOxの厚みは,金属膜の反射率と色差に大きな影響を与えるが,金属層の厚みは小さい。MoOxを低反材料とするプロセスに対して、MoOx材料の特性に従って異なる金属層を選択でき、反射率などの要求を満たせば、MoOx層の厚さを調整することで製品の色差を調整し、顧客の色好みの需要を満たすことができる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 接着 ,  *薄膜 ,  反射率 ,  アルミニウム ,  銅 ,  *モリブデン ,  モリブデン合金 ,  色差 ,  液晶ディスプレイ ,  金属薄膜 ,  *薄膜成長 ,  マグネトロンスパッタリング ,  シート抵抗
準シソーラス用語： 粘着性 ,  ガラス基板 ,  材料特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： マグネトロンスパッタリング ,  調製 ,  薄膜 ,  材料特性