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J-GLOBAL ID：202102275910424697   整理番号：21A2568209

圧電MEMS共振器センサの非接触読み出しのための技術と回路【JST・京大機械翻訳】

Technique and Circuit for Contactless Readout of Piezoelectric MEMS Resonator Sensors

著者 (9件)： Bau Marco (Department of Information Engineering, University of Brescia, via Branze 38, I25123 Brescia, Italy) ,  Ferrari Marco (Department of Information Engineering, University of Brescia, via Branze 38, I25123 Brescia, Italy) ,  Ferrari Marco (INO-CNR, via Branze 45, I25123 Brescia, Italy) ,  Begum Habiba (Department of Electrical Engineering, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Ali Abid (Department of Electrical Engineering, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Lee Joshua E.-Y. (Department of Electrical Engineering, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Lee Joshua E.-Y. (State Key Laboratory of Terahertz and Millimeter Waves, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Ferrari Vittorio (Department of Information Engineering, University of Brescia, via Branze 38, I25123 Brescia, Italy) ,  Ferrari Vittorio (INO-CNR, via Branze 45, I25123 Brescia, Italy)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 20  号： 12  ページ： 3483  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電マイクロ電気機械システム(MEMS)共振器センサの非接触電磁検査のための技術と電子回路を提案した。採用した共振器は,約6.3MHzの半径方向輪郭モードで振動する窒化アルミニウム(AlN)薄膜圧電オンシリコン(TPoS)ディスクである。MEMS共振器は1ポート配置で動作し,螺旋コイルに接続し,センサユニットを形成する。センサユニットへの読出しコイルを通して,近似電子質問ユニットを電磁的に結合させた。提案した技術は,MEMS共振器のインターリーブ励起と検出位相を利用する。調整された電子回路は励起位相間の周期的スイッチングを管理し,そこでは,読出しコイルを駆動する励起信号を生成し,検出位相は,読出しコイルを横切る電圧誘起バックを高インピーダンス増幅器を通して測定することにより,共振器の過渡減衰応答を感知する。このアプローチは,MEMS共振器の読出し周波数が読出しとセンサコイル間の問い合わせ距離に無関係であると有利に保証する。報告した実験結果は,MEMS共振器が12mmの範囲で,また,MEMS共振器表面上の水微小液滴の蒸着と蒸発プロセスを検出,追跡するための共鳴音響負荷センサとしての共鳴センサとしての応用を独立に,MEMS共振器の非接触読出しの成功を示した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 円板 ,  *共振器 ,  共鳴 ,  蒸発 ,  増幅器 ,  薄膜 ,  励起 ,  音響 ,  電子回路 ,  *圧電気 ,  近似法 ,  位相 ,  窒化アルミニウム ,  *MEMS
準シソーラス用語： *MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 薄膜圧電オンシリコン共振器 ,  窒化アルミニウム ,  時間ゲート技術 ,  非接触インタロゲーション ,  圧電MEMS共振器 ,  センサ

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

引用文献 (32件)：

• Van Beek, J.T.M.; Puers, R. A review of MEMS oscillators for frequency reference and timing applications. J. Micromech. Microeng. 2012, 22, 013001.
• Aigner, R.; Ella, J.; Timme, E.H.; Elbrecht, L.; Nessler, W.; Marksteiner, S. Advancement of MEMS into RF-filter applications. In Proceedings of the Digest, International Electron Devices Meeting, San Francisco, CA, USA, 8-11 December 2002; pp. 897-900.
• Ferrari, V.; Lucklum, R. Overview of Acoustic-Wave Microsensors. In Piezoelectric Transducers and Applications, 2nd ed.; Arnau, A., Ed.; Springer: Berlin/Heidelberg, Germany, 2008; pp. 187-203.
• Fischer, A.C.; Forsberg, F.; Lapisa, M.; Bleiker, S.J.; Stemme, G.; Roxhed, N.; Niklaus, F. Integrating MEMS and ICs. Microsyst. Nanoeng. 2015, 1, 15005.
• Delsing, P.; Cleland, A.N.; Schuetz, M.J.; Knörzer, J.; Giedke, G.; Cirac, J.I.; Srinivasan, K.; Wu, M.; Balram, K.C.; Bäuerle, C.; et al. The 2019 surface acoustic waves roadmap. J. Phys. D Appl. Phys. 2019, 52, 353001.

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧電 ,  MEMS共振器 ,  非接触 ,  読み出し