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J-GLOBAL ID:202102276654233217   整理番号:21A0147531

ツインカンチレバー構造を用いたMEMSベースの血糖測定センサ【JST・京大機械翻訳】

A MEMS based blood glucose measurement sensor using twin-cantilever structure
著者 (5件):
資料名:
巻: 2294  号:ページ: 020001-020001-6  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0071C  ISSN: 0094-243X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文は,MEMSベースのツインカンチレバー構造を用いた血糖測定センサを提案し,それは非常に信頼でき,正確である。500μmx10μmの寸法を特徴とする2つの同一マイクロカンチレバービームを設計し,IntelliSuite MEMSソフトウェアのIntelliFabモジュールを用いて製作した。1つは圧電材料鉛ジルコネートTitanate(PZT)で堆積し,機械的応力を電位の変化に変え,他方は抵抗の変化に関して機械的エネルギーを変換するドープポリシリコン(圧電抵抗器)で堆積した。血液試料中のグルコース検出は,グルコース感受性高分子PAA-ran-3-PAAPBAによる片持梁のトップ表面を被覆することにより達成された。カンチレバー梁の機械的曲げを血液試料中のグルコースの存在により観察し,グルコース濃度に比例した出力電圧を読取回路としてオペアンプを用いて測定した。162mg/dLのグルコース濃度に対応する出力電圧は47.49mVであった。Copyright 2021 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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固体デバイス製造技術一般 
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