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J-GLOBAL ID：202102278181220651   整理番号：21A0169511

走査型電子顕微鏡における像の鮮鋭度評価のためのタングステンドットアレイNMIJ CRM 5207-aの開発-構造評価とドットピッチの決定

Development of NMIJ CRM 5207-a tungsten dot-array for the image sharpness evaluation in scanning electron microscopy - structure evaluation and determination of dot-pitch

著者 (2件)： KUMAGAI Kazuhiro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KUROKAWA Akira (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名： Microscopy  (Microscopy)
巻： 69  号： 6  ページ： 360-370  発行年： 2020年12月 
JST資料番号： W1384A  ISSN： 2050-5698  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・走査型電子顕微鏡(SEM)像の鮮鋭度評価や倍率校正に適したシリコン基板上のタングステンドットアレイ構造を持つ新しい認証標準物質(CRM)を開発。
・SEM像中のタングステンドットとシリコン基板の間の急激な輝度変化により,微分法に基づいて像の鮮鋭度評価を容易かつ安定的に行えることを確認。
・特徴的な値として,ドットピッチをSI-トレーサブルに決定し,そこから相対拡張不確かさ(k=2)が1.3%程度の倍率校正が可能となることが判明。
・CRMはSEMによる長さ測定の信頼性向上のみならず,SEM装置の性能管理の一環としての画像鮮鋭度評価の利用を促進する一助となると推察。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *鮮鋭度 ,  タングステン ,  アレイ ,  構造解析 ,  倍率 ,  *認証標準物質 ,  規模 ,  コントラスト ,  微分 ,  不確実性 ,  分解能
準シソーラス用語： SEM【顕微鏡】 ,  *ドットアレイ ,  ナノスケール ,  *解像度 ,  *構造評価 ,  微分法 ,  不確かさ

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  研究開発  (BA01040A)

タイトルに関連する用語 (10件)： 走査型電子顕微鏡 ,  像 ,  鮮鋭度 ,  評価 ,  タングステン ,  ドットアレイ ,  CRM ,  開発 ,  構造評価 ,  ドットピッチ