文献

J-GLOBAL ID：202102278455876416   整理番号：21A2528382

CMOSイメージセンサに基づく低コスト2Dインデックスと直線性測定システム【JST・京大機械翻訳】

Low-Cost 2D Index and Straightness Measurement System Based on a CMOS Image Sensor

著者 (3件)： Kueng Alain ,  Bircher Benjamin A. ,  Meli Felix
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 24  ページ： 5461  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 正確な追跡可能な測定システムは,1つ以上の次元で位置測定にレーザ干渉計を使用することが多い。干渉計はインクリメンタルな情報のみを提供するので,それらはしばしばインデックスセンサと結合して安定な参照出発点を提供する。剛性測定は機械軸補正と数自由度を持つシステムにとって重要である。本論文では,画像センサにポインティングしたファイバ結合,コリメートレーザビームに基づいて,真直度測定システムにも使用できる光二次元(2D)指数センサの精度を調べた。さらに,センサは数ミリメートルの範囲で2D位置を直接決定することができる。このデバイスは,簡単で低コストの相補的金属酸化物半導体(CMOS)画像センサチップに基づいており,サブミクロン精度を提供する。このシステムは,標準技術に対する興味深い代替であり,実時間補正のための機械にも実装できる。本論文では,様々な応用に対して開発したセンサ特性を提示し,真直度測定のための新しい誤差分離法を紹介した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉計 ,  工作機械 ,  剛性 ,  真直度 ,  *二次元 ,  位置測定 ,  センサ ,  自由度 ,  *イメージセンサ ,  計測システム ,  レーザ干渉計 ,  *CMOS
準シソーラス用語： *CMOSイメージセンサ ,  センサチップ ,  ポインティングデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 2D位置センサ ,  2Dインデックスセンサ ,  直線性センサ ,  工作機械の形状補正

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  生体計測  (EL03020C) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

引用文献 (13件)：

• Baldwin, R.R. Interferometer System for Measuring Straightness and Roll. U.S. Patent 3,790,284, 2 February 1974.
• Matsuda, K.; Roy, M.; O’Byrne, J.W.; Fekete, P.W.; Eiju, T.; Sheppard, C.J.R. Straightness measurements by use of a reflection confocal optical system. Appl. Opt. 1999, 38, 5310-5318.
• Liu, C.-W.; Jywe, W.-Y.; Tzeng, S.-C.; Lin, Y.-S. Development of a novel optical measurement system for the error verification of a rotating spindle. Opt. Eng. 2005, 44, 097003.
• Fan, K.C.; Zhao, Y. Laser straightness measurement system using optical fiber and modulation techniques. Int. J. Mach. Tools Manuf. 2000, 40, 2073-2081.
• Feng, Q.; Zhang, B.; Kuang, C. A straightness measurement system using a single-mode fiber-coupled laser module. Opt. Laser Technol. 2004, 36, 279-283.

タイトルに関連する用語 (5件)： CMOSイメージセンサ ,  2D ,  インデックス ,  直線性 ,  測定システム