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J-GLOBAL ID:202102279147054501   整理番号:21A0175544

広帯域周波数領域サーモリフレクタンス:体積熱容量,異方性熱伝導率および厚み測定【JST・京大機械翻訳】

Wide bandwidth frequency-domain thermoreflectance: Volumetric heat capacity, anisotropic thermal conductivity, and thickness measurements
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巻: 91  号: 12  ページ: 124901-124901-9  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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周波数範囲1Hzから75MHzの周波数領域熱反射(FDTR)システムを示した。ポンプ変調周波数の広い帯域幅は,バルクおよび薄膜材料の同時熱物理特性の向上を可能にする。広い帯域幅FDTRシステムを,サファイアと白雲母の面内と交差面熱伝導率,金/チタン薄膜の厚さと熱伝導率,およびニオブ酸リチウムとシリコンの等方性熱伝導率と体積熱容量の同時測定で実証した。FDTRで測定した熱物理特性を文献値または検証の独立測定と比較した。最後に,低周波数では,400積分点と16w_effの上部積分限界で解かれたGauss-Legendre求積法による熱拡散方程式の数値積分において無視できる誤差が達成され,ここでw_effは有効ポンププローブ1/e2半径であった。Copyright 2021 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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その他の熱的変量の計測法・機器 

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