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J-GLOBAL ID:202102280299784924   整理番号:21A1775681

自己調整剛性中心モジュールを持つXYナノポジショナ【JST・京大機械翻訳】

An XY Nanopositioner With a Self-Adjusting Stiffness Center Module
著者 (2件):
資料名:
号: IDETC-CIE2017  ページ: Null  発行年: 2017年 
JST資料番号: A0478C  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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本論文では,面内寄生回転を最小化するために,自己調整剛性中心(SASC)モジュールを有する革新的大ストロークXYコンプライアントナノポジショナを示した。二重平行四辺形たわみを用いて運動学デカップリングを達成した。さらに,SASCを実現するために,平行四辺形撓みに基づく付加的平面継手を採用して,それは面内モーメントを著しく減らした。SASC設計手法は,剛性中心をそれ自身によって調整し,そして,段階が運動であるとき,平行四辺形たわみの剛性の変化によって固定する。事例研究では,SASCモジュールを有する1mm×1mmのXYナノポジショナを詳細に提示した。有限要素解析(FEA)の結果は,提案したXYポジショナーが,必要なミリメートルストロークを達成でき,SASC設計による寄生回転を著しく低減できることを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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運動機構 
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