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J-GLOBAL ID：202102280924894844   整理番号：21A0834815

電子顕微鏡用途のための高性能電子ビームの製造

Fabrication of High Performance Electron Beam for Electron Microscope Applications

著者 (2件)： LEE Ha Rim (Kyung Hee Univ., Seoul, KOR) ,  PARK Kyu Chang (Kyung Hee Univ., Seoul, KOR)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM))
巻： 24th  ページ： ROMBUNNO.MEET2-2  発行年： 2017年12月05日 
JST資料番号： L4269B  ISSN： 1883-2504  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・カーボンナノチューブ冷陰極(Cbeam)を備えた電子ビームは,さまざまな真空電子デバイス,特に電子顕微鏡用途向けに開発。
・CNT冷陰極を備えた高輝度電子ビームは,自立型の垂直に整列したCNTエミッターで製造可能で,蛍光体画像では,直径77μm未満の高解像度Cbeamを取得。
・レジストアシストパタリング(RAP)プロセスにより製造したCNTエミッターは,顕微鏡用の他の冷陰極源よりも優れた電子放出特性を提示。
・顕微鏡用のシンプルな構造のCNT冷陰極を備えた高解像度電子ビームモジュールの製造に成功。

シソーラス用語： *電子顕微鏡 ,  *電子ビーム ,  カーボンナノチューブ ,  カソード ,  固体素子 ,  電子放出 ,  レジスト ,  蛍光体 ,  画像 ,  抵抗加熱
準シソーラス用語： Joule加熱 ,  電子デバイス ,  冷陰極

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

引用文献 (7件)：

• W.P. Dyke, and W.W.Dolan, Adv. Electron Phys. 8.89-185 (1956).
• E. W. Muller, Z. Physik. 131, 136-142 (1951).
• L. W. Swanson and A.E. Bell, Adv. Electron Phys.32, 193-309 (1973).
• J. H. Ryu, K. S. Kim, C. S. Lee, J. Jang, and K. C. Park, J. Vac. Sci. Technol, Vol. 26, pp. 856-859(2008).
• J. S. Kang, J. H. Hong, M. T. Chung and K. C. Park, J. Vac. Sci. Technol. B, 34, 02G104, (2016).

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子顕微鏡 ,  用途 ,  高性能 ,  電子ビーム