文献

J-GLOBAL ID：202102281789954535   整理番号：21A2527284

集積ナノメカニカルセンサ用の改良型光導波路マイクロカンチレバー【JST・京大機械翻訳】

Improved Optical Waveguide Microcantilever for Integrated Nanomechanical Sensor

著者 (9件)： Jing Yachao (Key Laboratory of All Optical Network and Advanced Telecommunication Network, Ministry of Education, Institute of Lightwave Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Fan Guofang (Key Laboratory of All Optical Network and Advanced Telecommunication Network, Ministry of Education, Institute of Lightwave Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Wang Rongwei (Key Laboratory of All Optical Network and Advanced Telecommunication Network, Ministry of Education, Institute of Lightwave Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Zhang Zeping (Key Laboratory of All Optical Network and Advanced Telecommunication Network, Ministry of Education, Institute of Lightwave Technology, Beijing Jiaotong University, Beijing 100044, China) ,  Cai Xiaoyu (Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, National Center of Measurement and Testing for East China, National Center of Testing Technology, Shanghai 201203, China) ,  Wei Jiasi (Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, National Center of Measurement and Testing for East China, National Center of Testing Technology, Shanghai 201203, China) ,  Chen Xin (Department of Instrument Science and Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China) ,  Li Hongyu (College of Mechanical and Electronic Engineering, Shandong University of Science and Technology, Qingdao 266590, China) ,  Li Yuan (Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, National Center of Measurement and Testing for East China, National Center of Testing Technology, Shanghai 201203, China)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 19  ページ： 4346  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,高感度の改善された光導波路マイクロカンチレバーセンサについて報告した。感度を改善するために,バッファを入力導波路と光導波路カンチレバーの接続に導入して,入力導波路を拡張し,接合のカップリング損失を低減した。バッファ関連光損失を異なるカンチレバー厚さに対して調べた。バッファの最適長さは300nmのカンチレバー厚さに対して0.97mであった。この配置により,光学損失は約40%に減少し,最大感度は従来の構造の2倍以上であった。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 接合 ,  *片持梁 ,  *光導波路 ,  高感度
準シソーラス用語： 光損失 ,  マイクロカンチレバー ,  入力ウェーブガイド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 光導波路カンチレバーセンサ ,  バッファ ,  感度

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (21件)：

• Amiri, I.S.; Addanki, S. Simulation fabrication and characterization of micro-cantilever array based ozone sensor. Results Phys. 2018, 10, 923-933.
• Carrascosa, L.G.; Moreno, M.; Alvarez, M.; Lechuga, L.M. Nanomechanical biosensors: A new sensing tool. TrAC Trends Anal. Chem. 2006, 25, 196-206.
• Fedyanin, D.Y.; Stebunov, Y.V. All-nanophotonic NEMS biosensor on a chip. Sci. Rep. 2015, 5, 10968.
• Liu, J.; Zhong, C.; Tan, J.; Wang, T.; Wilson, T. Elliptical mirror based imaging with aperture angle greater than π/2. Opt. Express 2012, 20, 19206-19213.
• Zhang, J.W.; Cao, D.K.; Diaham, S.; Zhang, X.; Yin, X.Q.; Wang, Q. Research on potential induced degradation (PID) of polymeric backsheet in PV modules after salt-mist exposure. Solar Energy 2019, 188, 475-482.

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積 ,  光導波路 ,  マイクロカンチレバー