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J-GLOBAL ID：202102284436920039   整理番号：21A0597985

高圧-高温マイクロ流体応用のための中赤外透明ゲルマニウム酸塩ガラスの陽極接合

Anodic bonding of mid-infrared transparent germanate glasses for high pressure - high temperature microfluidic applications

著者 (11件)： Ari Julien (Centre d’Optique, Photonique et Laser (COPL), Universite Laval, Quebec (QC), Canada) ,  Ari Julien (Equipe Verres & Ceramiques - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR), UMR-CNRS 6226, Universite de Rennes 1, Rennes, France) ,  Louvet Geoffrey (Centre d’Optique, Photonique et Laser (COPL), Universite Laval, Quebec (QC), Canada) ,  Louvet Geoffrey (Equipe Verres & Ceramiques - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR), UMR-CNRS 6226, Universite de Rennes 1, Rennes, France) ,  Ledemi Yannick (Centre d’Optique, Photonique et Laser (COPL), Universite Laval, Quebec (QC), Canada) ,  Celarie Fabrice (Departement Mecanique & Verres, Institut de Physique de Rennes (IPR), UMR-CNRS 6251, Universite de Rennes 1, Rennes, France) ,  Morais Sandy (Institut de Chimie de la Matiere Condensee de Bordeaux (ICMCB), UMR-CNRS 5026, Universite de Bordeaux, Bordeaux, France) ,  Bureau Bruno (Equipe Verres & Ceramiques - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR), UMR-CNRS 6226, Universite de Rennes 1, Rennes, France) ,  Marre Samuel (Institut de Chimie de la Matiere Condensee de Bordeaux (ICMCB), UMR-CNRS 5026, Universite de Bordeaux, Bordeaux, France) ,  Nazabal Virginie (Equipe Verres & Ceramiques - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR), UMR-CNRS 6226, Universite de Rennes 1, Rennes, France) ,  Messaddeq Younes (Centre d’Optique, Photonique et Laser (COPL), Universite Laval, Quebec (QC), Canada)
資料名： Science and Technology of Advanced Materials (Web)  (Science and Technology of Advanced Materials (Web))
巻： 21  号： 1  ページ： 11-24  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7009A  ISSN： 1878-5514  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン-Pyrex微細加工技術に基づく高圧/高温マイクロリアクターは,高圧流プロセスでの光学的アクセスを提供する様々な応用への関心を高めている。しかし,マイクロリアクター製造に用いたパイレックスガラス基板の限られた光透過性(赤外領域で約2.7μmまで)のため,赤外分光法とは結合できない。この限界に取り組むために,本研究で提案した代替アプローチは,アノード結合過程によるシリコン-ウエハカップリングの能力を含む,Pyrexのそれらと同程度の,熱および機械的特性を有する中赤外透明ガラスによるマイクロリアクタ中のパイレックスガラスを置き換えることから成る。中赤外範囲および熱/熱機械的性質における優れた透過のために知られているゲルマニウム酸塩GeO₂に基づくガラスを,このように評価し,開発した。5つのガラス系に属する適応ガラス組成の光学的,機械的,熱的および電気伝導性特性を,系統的に調査した。ガラス組成70GeO₂-15Al₂O₃-10La₂O₃-5Na₂O(mol%)を最良の候補と定め,直径50mmと厚さ1mmの大型板で製作した。次に,Siウエハによる陽極接合試験を成功裏に行い,完全中赤外透明シリコンガラスマイクロリアクタの開発の道を開いた。グラフ要約:Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *状態 ,  *流体 ,  *赤外線 ,  *ガラス ,  *接合 ,  ホウケイ酸ガラス ,  ウエハ【IC】 ,  技術 ,  微細加工 ,  マイクロリアクタ ,  光透過 ,  赤外分光法 ,  機械的性質 ,  熱特性 ,  導電性
準シソーラス用語： *高圧高温 ,  *マイクロ流体 ,  *中赤外線 ,  *ゲルマニウム酸塩ガラス ,  *陽極接合 ,  パイレックスガラス ,  シリコン基板 ,  微細加工技術 ,  電気伝導性

著者キーワード (5件)： ゲルマニウム酸塩ガラス ,  中赤外 ,  陽極接合 ,  高圧/高温 ,  マイクロフルイディクス

分類 (2件)： ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z) ,  非金属のその他の熱的性質  (BL05040J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高圧 ,  流体 ,  応用 ,  ゲルマニウム酸塩ガラス ,  陽極接合