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J-GLOBAL ID：202102284661278317   整理番号：21A0229161

多機能省エネルギーガラス用の酸化チタン/アルミニウムドープ酸化亜鉛膜を調製するための熱酸化における加熱温度の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of Heating Temperature in Thermal Oxidation to Prepare Titanium Oxide /Aluminum-doped Zinc Oxide Films for Multi-functional-energy-saving Glass

著者 (3件)： Chang Shang-Chou (Kun Shan University,Department of Electrical Engineering,Tainan City,Taiwan) ,  Li Tsung-Han (Kun Shan University,Department of Electrical Engineering,Tainan City,Taiwan) ,  Chan Huang-Tian (Kun Shan University,Green Energy Technology Research Center,Tainan City,Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： GTSD  ページ： 523-526  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,多官能性省エネルギーガラス:自己洗浄および低放射率のためのガラス上に酸化チタン/アルミニウムドープ酸化亜鉛(TiO_x/AZO)膜を調製する熱酸化の実現可能性を報告した。チタン/アルミニウムドープ酸化亜鉛膜をガラス基板上に堆積した。次に,チタンの熱酸化を,酸素ガス流を供給する炉で行った。加熱温度を300°C,400°Cおよび500°Cに設定した。TiO_x/AZO試料の構造的,光学的および親水性を測定した。結果は,熱酸化処理における加熱温度が,特に500°Cで,TiO_x/AZOの特性に,実際に影響を与えることを示した。TiO_x/AZO試料の表面上の粒子凝集は,走査電子顕微鏡から見た加熱温度と共に増加する。酸化亜鉛中のアルミニウムによる亜鉛置換は,加熱温度が上がると,高角度にシフトする酸化亜鉛(002)X線回折ピークから観察された。TiO_x/AZO試料の平均可視透過率は,加熱温度を300から500°Cに上げると,41%から81%に増加した。紫外線照射後のTiO_x/AZO試料の接触角は,加熱温度:300,400および500°Cにおいて,7.17°C,8.16°および31.26°であった。500°Cのような高い加熱温度はチタンが酸素と反応し,亜鉛はTiO_x/AZO膜中でアルミニウムと置換する。これは,低放射率ガラスに適した可視透過率と放射率(電気抵抗率の値に対応する)を低くする。また,TiO_x/AZO試料の低い接触角から観察された良好な親水性は,調製したTiO_x/AZO試料が自己浄化ガラスとしても作用できることを明らかにした。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ガラス ,  凝集 ,  接触角 ,  走査電子顕微鏡 ,  *亜鉛 ,  *アルミニウム ,  酸素 ,  *チタン ,  自浄作用 ,  紫外線照射 ,  *酸化亜鉛 ,  *酸化チタン ,  透過率 ,  *加熱温度 ,  *熱酸化

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (9件)： 多機能 ,  省エネルギーガラス ,  酸化チタン ,  アルミニウム ,  ドープ ,  酸化亜鉛 ,  調製 ,  熱酸化 ,  加熱温度