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J-GLOBAL ID：202102285266893248   整理番号：21A0343775

超高感度イットリウム修飾酸化すず薄膜ベースのサブppbレベルNO_2検出器【JST・京大機械翻訳】

Ultrasensitive yttrium modified tin oxide thin film based sub-ppb level NO₂ detector

著者 (7件)： Sohal Manreet Kaur (Department of Physics, Guru Nanak Dev University, Amritsar, 143005, India) ,  Mahajan Aman (Department of Physics, Guru Nanak Dev University, Amritsar, 143005, India) ,  Gasso Sahil (Department of Physics, Guru Nanak Dev University, Amritsar, 143005, India) ,  Bedi R.K. (S.I.E.T. Ram Tirath Road, Amritsar, 143107, India) ,  Singh Ravi Chand (Department of Physics, Guru Nanak Dev University, Amritsar, 143005, India) ,  Debnath A.K. (Technical Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai, 400085, India) ,  Aswal D.K. (CSIR-National Physical Laboratory, New Delhi, 110012, India)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 329  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環境およびヒトの健康に及ぼす上昇大気汚染の悪影響を考慮して,高選択性および痕跡レベルセンサが必要とされる。ここでは,室温のNO_2のサブppbレベル検出のために,イットリウム(Y)を取り込んだ酸化スズ(SnO_2)薄膜ガスセンサを開発した。非ドープおよびYドープ(1,3および5wt%)薄膜を電子ビーム蒸着法によって作製した。XPS研究はSnO_2格子中のSnのYによる置換を確認した。形態学的および構造的キャラクタリゼーションは,滑らかで結晶性の薄膜を明らかにし,一方,RamanおよびPL分光研究は,ドープした試料において,酸素空孔(OV),特に面内OVの存在および成長を確認した。さらに,ドープした試料中の電子吸収スペクトルの狭小化は,SnO_2のエネルギーバンドギャップにおける中間ギャップ状態の形成を意味し,電子移動の増大をもたらした。3wt%YドープSnO_2センサは15~240ppbの範囲でNO_2に対して高い選択性で優れたセンシング応答を示した。センサは湿度非感受性と共に高い安定性と再現性を示した。特に,センサーは0.6ppbのNO_2に対して高感度であり,応答/回復時間が4/2minで26%の応答を示した。改善されたセンシング特性は,Y積分による微結晶サイズの減少,面内OVの上昇,電荷移動の増強および比表面積の増加に起因した。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微結晶 ,  *薄膜 ,  大気汚染 ,  *イットリウム ,  スズ ,  湿度 ,  *酸化スズ ,  ヒト ,  ドーピング ,  結晶度 ,  電子ビーム蒸着 ,  電子移動 ,  電子吸収スペクトル ,  バンドギャップ ,  酸素空格子点

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  ガスセンサー ,  NO_2 ,  イットリウム ,  酸化すず

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高感度 ,  イットリウム ,  修飾 ,  酸化すず ,  薄膜 ,  サブ ,  検出器