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J-GLOBAL ID:202102285886213433   整理番号:21A0240960

相反ロール角に基づく角度変位の高精度誤差測定システムに関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on high-precision error measurement system of angular displacements based on reciprocal roll angles
著者 (8件):
資料名:
巻: 59  号: 12  ページ: 124110  発行年: 2020年 
JST資料番号: B0577B  ISSN: 0091-3286  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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要約。逆ロール角(RRA)の二軸に基づく角度変位の高精度誤差測定法を提示した。角度変位測定システムの分解能と精度を,光電オートコリメータと反射器と共に,小角測定の原理を用いて保証した。二軸RRAの方法と完全円閉鎖の原理に基づいて,完全な円周範囲をカバーする変位計測システムを構築した。変位測定システムは,基準角度誤差除去,キャリブレーション角度誤差,および相互補償を認識できる。角度変位誤差測定および二軸ターンテーブルの全誤差モデルを確立し,そして,主誤差項を,ターンテーブルおよび成分の全誤差モデルを用いて,解析した。従来の「Fourier調和解析」とスパース分解法を用いて,システム誤差成分を修正した。補正ターンテーブルのシミュレーション精度は,エラーフリー項のものと同様であり,解析結果を,精度分布を含むシステム最適化構成に用いた。実験は,提案した高精度,角度変位,および誤差測定方法の実現可能性と有効性を検証した。Copyright 2020 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  干渉測定と干渉計 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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