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J-GLOBAL ID：202102285945869891   整理番号：21A2570998

不安定空気屈折率による4自由度測定システムのドリフト低減【JST・京大機械翻訳】

Drift Reduction of a 4-DOF Measurement System Caused by Unstable Air Refractive Index

著者 (7件)： Li Ruijun ,  Wang Yongjun ,  Tao Pan ,  Cheng Rongjun ,  Cheng Zhenying ,  Wei Yongqing ,  Dang Xueming
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 20  号： 21  ページ： 6329  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザビームドリフトは,工作機械誤差の検出,特に長距離測定の間,4自由度(4-DOF)測定システムの精度に大きく影響する。空気の屈折率を安定化するために,レーザビーム遮蔽と空気ポンプとして機能するためにベローズを用いた新しい方法を提案した。ベローズの内径とポンプの制御モードを理論解析とシミュレーションを通して最適化した。実験装置を確立して,温度干渉条件の下で方法の実現可能性を検証した。結果は,レーザビームスポットの位置安定性がポンピングと膨張の作用の下で79%以上改善されることを示した。提案した方式は,レーザビームドリフトを低減するための費用対効果の高い方法を提供し,それは4-DOF測定システムの検出精度を改善するために適用できる。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉 ,  *屈折率 ,  最適化 ,  工作機械 ,  ベローズ ,  *ドリフト ,  内径 ,  レーザビーム ,  *自由度 ,  流動解析 ,  計測システム
準シソーラス用語： 費用対効果 ,  長距離 ,  理論解析 ,  検出精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： レーザ測定システム ,  ビームドリフト ,  ベローズ ,  流体解析

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  力学  (BA04000D) ,  生体計測  (EL03020C)

引用文献 (28件)：

• Zhao, S.; Wei, H.; Li, Y. Dual-frequency laser displacement and angle interferometer. In Proceedings of the SPIE/COS Photonics Asia, Beijing, China, 13 November 2014; Volume 9276, p. 92761T.
• Chen, Q.H.; Wu, J.; Yin, C.Y. Long Range Straightness/Coaxiality Measurement System Using Dual-frequency Laser. Chin. J. Las. 2002, 29, 625-630.
• Chen, B.; Cheng, L.; Yan, L.; Zhang, E.; Lou, Y. A heterodyne straightness and displacement measuring interferometer with laser beam drift compensation for long-travel linear stage metrology. Rev. Sci. Instrum. 2017, 88, 035114.
• Hu, P.; Mao, S.; Tan, J.B. Compensation of errors due to incident beam drift in a 3 DOF measurement system for linear guide motion. Opt. Express 2015, 23, 28389-28401.
• Shih, Y.-C.; Tung, P.-C.; Wang, Y.-C.; Shyu, L.-H.; Manske, E. Linear Displacement Calibration System Integrated with a Novel Auto-Alignment Module for Optical Axes. Sensors 2020, 20, 2462.

タイトルに関連する用語 (4件)： 屈折率 ,  自由度 ,  測定システム ,  ドリフト低減