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J-GLOBAL ID：202102286325713819   整理番号：21A0285305

ナノインプリントによるフォノニックナノ構造シリコン薄膜熱電デバイスの高出力化

Development of High Power Silicon Membrane Thermoelectric Generator with Phononic Nano-structures by using Nanoimprint

著者 (2件)： 柳澤亮人 (東大 生産技研) ,  野村政宏 (東大 生産技研)
資料名： 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集(CD-ROM)  (Proceedings of Thermal Engineering Conference (CD-ROM))
巻： 2019  ページ： ROMBUNNO.D211  発行年： 2019年 
JST資料番号： L0417B  ISSN： 2424-290X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パターン転写 ,  押付成形 ,  *ナノ構造 ,  半導体薄膜 ,  *熱電素子 ,  改変 ,  熱電気変換
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  *シリコン薄膜 ,  *熱電デバイス ,  高出力化 ,  熱電変換

分類 (1件)： 熱電デバイス  (NC03090J)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノインプリント ,  シリコン薄膜 ,  熱電デバイス ,  高出力化