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J-GLOBAL ID:202102287753023889   整理番号:21A0503338

ゴムコーティングヘッドの数値シミュレーションおよび最適化シミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】

著者 (5件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 115-117  発行年: 2020年 
JST資料番号: C3485A  ISSN: 2095-6649  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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フォトレジストはプリント回路基板線路の映像転移のキー材料であり、そのプロセス品質は電子デバイスの品質に直接影響する。マイクロエレクトロニクスマイクロ画像加工技術に基づき,コーティングヘッドの3D構造モデルを確立し,そして,被覆ヘッドの内部ゴム温度場を,CFDシミュレーションソフトウェアによって得て,そして,被覆安定性に及ぼす,入口温度の影響を,研究した。結果は,被覆ヘッドの横方向温度均一性が被覆安定性に密接に関係し,温度が32.5°Cより高いとき,出口の横方向温度分布が一様で,被覆効果の安定性を向上できることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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