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J-GLOBAL ID：202102289725957841   整理番号：21A2580950

3 3光ファイバ結合器に基づく光直交干渉計を用いたナノメータスケール振動測定【JST・京大機械翻訳】

Nanometer-Scale Vibration Measurement Using an Optical Quadrature Interferometer Based on 3 × 3 Fiber-Optic Coupler

著者 (4件)： Park Soongho ,  Lee Juhyung ,  Kim Younggue ,  Lee Byeong Ha
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 20  号： 9  ページ： 2665  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 干渉計システムを特徴付けるために必要なパラメータを抽出する光直交干渉計と後処理技術を用いて,ナノメータスケールの変位または振動測定システムを提案した。3つの光ファイバ結合器を用いて,全体の複雑な干渉信号を,結合器の2つのリターンポートで測定した2つの干渉信号で再構成することができた。リターンポート間の固有位相差を利用して,干渉信号の二次部分を得て,全体の複雑な干渉信号を再構成することができた。しかし,2つの測定信号は,結合器の不均等な検出器利得と不均一固有相によってかなり影響された。幸いなことに,干渉システムの2つの信号によってプロットされたLissajous曲線は楕円を形成することがわかった。したがって,測定したLissajous曲線を楕円に当てはめることによって,実際のシステムを特徴付けるパラメータを抽出し,ナノメートルスケール測定を可能にした。実験結果は,1.5nmの振幅を有する20kHz正弦波振動を0.4nmの標準偏差で測定できることを示した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *干渉 ,  *干渉計 ,  *振動測定 ,  標準偏差 ,  *結合器 ,  正弦波 ,  後処理 ,  再構成 ,  利得 ,  検出器 ,  ポート ,  *直交性
準シソーラス用語： 位相差 ,  光干渉計 ,  光ファイバカプラ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 光学的直交検出 ,  光干渉計 ,  振動測定 ,  変位測定 ,  3 3光ファイバ結合器 ,  リサージュ曲線 ,  楕円フィッティング法

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (16件)：

• Danzebrink, H.-U.; Koenders, L.; Wilkening, G.; Yacoot, A.; Kunzmann, H. Advances in Scanning Force Microscopy for Dimensional Metrology. CIRP Ann. 2006, 55, 841-878.
• Park, S.; Rim, S.; Kim, Y.; Lee, B.H. Noncontact photoacoustic imaging based on optical quadrature detection with a multiport interferometer. Opt. Lett. 2019, 44, 2590.
• Domingues, M.F.; Rodriguez, C.A.; Martins, J.; Tavares, C.; Marques, C.; Alberto, N.; André, P.; Antunes, P. Cost-effective optical fiber pressure sensor based on intrinsic Fabry-Perot interferometric micro-cavities. Opt. Fiber Technol. 2018, 42, 56-62.
• Heydemann, P.L.M. Determination and correction of quadrature fringe measurement errors in interferometers. Appl. Opt. 1981, 20, 3382-3384.
• Wu, C.; Su, C.; Peng, G.-S. Correction of nonlinearity in one-frequency optical interferometry. Meas. Sci. Technol. 1996, 7, 520-524.

タイトルに関連する用語 (3件)： 光ファイバ結合器 ,  干渉計 ,  振動測定