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J-GLOBAL ID：202102291309465657   整理番号：21A0876272

直流マグネトロンスパッタリングにより蒸着したCo_32Fe_30W_38膜の構造,磁気,表面エネルギーおよび光学特性に及ぼすアニーリングの効果【JST・京大機械翻訳】

Effect of Annealing on the Structural, Magnetic, Surface Energy and Optical Properties of Co32Fe30W38 Films Deposited by Direct-Current Magnetron Sputtering

著者 (9件)： Liu Wen-Jen (Department of Materials Science and Engineering, I-Shou University, Kaohsiung 840, Taiwan) ,  Chang Yung-Huang (Bachelor Program in Interdisciplinary Studies, National Yunlin University of Science and Technology, 123 University Road, Section 3, Douliou, Yunlin 64002, Taiwan) ,  Ou Sin-Liang (Bachelor Program for Design and Materials for Medical Equipment and Devices, Da-Yeh University, Changhua 51591, Taiwan) ,  Chen Yuan-Tsung (Graduate School of Materials Science, National Yunlin University of Science and Technology, 123 University Road, Section 3, Douliou, Yunlin 64002, Taiwan) ,  Li Wei-Hsuan (Graduate School of Materials Science, National Yunlin University of Science and Technology, 123 University Road, Section 3, Douliou, Yunlin 64002, Taiwan) ,  Jhou Tian-Yi (Graduate School of Materials Science, National Yunlin University of Science and Technology, 123 University Road, Section 3, Douliou, Yunlin 64002, Taiwan) ,  Chu Chun-Lin (National Applied Research Laboratories, Taiwan Semiconductor Research Institute, Hsinchu 30078, Taiwan) ,  Wu Te-Ho (Graduate School of Materials Science, National Yunlin University of Science and Technology, 123 University Road, Section 3, Douliou, Yunlin 64002, Taiwan) ,  Tseng Shih-Wen (Instrument Center, National Cheng Kung University, Tainan 70140, Taiwan)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 10  号： 11  ページ： 1028  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ガラス基板にスパッタした1050nmCo_32Fe_30W_38合金薄膜を,室温(RT),300,350および400Cを含む1時間,異なる温度でアニールした。Co32Fe30W38合金の構造,磁気特性,表面エネルギー,および光学的性質を研究した。堆積したままのCo32Fe30W38薄膜のX線回折(XRD)パターンは非晶質構造を示した。見かけの体心立方(BCC)CoFe(110)構造を1時間300C焼鈍後に示した。300CアニールしたCo_32Fe_30W_38薄膜は,他の温度と比較して最高のCoFe(110)ピークを示した。さらに,Co_32Fe_30W_38薄膜が厚いほど,CoFe(110)ピークが高くなった。CoFe(110)ピークは,強い低周波交流磁化率(ac)に関係する磁気結晶異方性を明らかにし,厚さ(tf)が増加するにつれて飽和磁化(Ms)の増加傾向を誘導した。熱擾乱により,350および400CアニールしたCo_32Fe_30W_3薄膜に対するacおよびMsは減少した。Co32Fe30W38薄膜の接触角は90未満であった。すべての温度で,膜厚が10から50nmに増加したとき,表面エネルギーは増加した。さらに,アニールした試料の表面エネルギーは堆積したままの試料よりも比較的高かった。300Cで焼なました50nmのCo_32Fe_30W_38薄膜について,28mJ/mm2の高い表面エネルギーを得た。蒸着したままのCo_32Fe_30W_38膜の透過率パーセント(%)は,他のアニール条件より高かった。この結果は,完全なバンド構造によるより高い結晶化が,膜を通した光子信号の透過を阻害し,低い透過率と高い吸収をもたらすという事実に寄与した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  結晶化 ,  *光学的性質 ,  合金 ,  *焼なまし ,  接触角 ,  バンド構造 ,  薄膜 ,  *表面エネルギー ,  飽和磁化 ,  *磁気 ,  透過率
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  合金薄膜 ,  *DCマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： アニールしたCo_32Fe_30W_38薄膜 ,  低周波交流磁化率 ,  最適共振周波数(f_res) ,  表面エネルギー ,  透過率

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  磁気的性質  (WB02020J)

引用文献 (38件)：

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• Kim, S.N.; Chung, K.H.; Choi, J.W.; Lim, S.H. Manipulation of free-layer bias field in giant-magnetoresistance spin valve by controlling pinned-layer thickness. J. Alloy. Compd. 2020, 823, 153727.

タイトルに関連する用語 (6件)： 直流マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  磁気 ,  表面エネルギー ,  光学特性 ,  アニーリング