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J-GLOBAL ID:202102292110704237   整理番号:21A0796796

イオンビームの電気流体力学的エミッタ【JST・京大機械翻訳】

Electrohydrodynamic emitters of ion beams
著者 (6件):
資料名:
巻: 63  号: 12  ページ: 1219-1255  発行年: 2020年 
JST資料番号: E0595B  ISSN: 1063-7869  CODEN: PHUSEY  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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液体金属と合金および室温イオン液体に基づく電気流体力学(EHD)エミッタにおける高い放出電流密度を有するイオンビームの生成の基礎となる物理プロセスを検討した。イオン(イオン生成メカニズム)の発光と高密度ビームにおけるイオン相互作用の動力学に影響するEHD効果を考察した。放出ゾーンサイズ,高および低電流での放出の持続性,クラスタの生成,エネルギー広がりの増加,輝度の減少,およびイオンビームの他の特徴を決定する因子を分析した。著者らは,EHDエミッタの特定の設計特性と,それらの安定動作を確実に保証する問題を考察した。詳細に議論されたのは,イオンビームリソグラフィーのための技術的設備,マイクロおよびナノパターニング,イオン顕微鏡および二次イオンの局所質量分析のための技術設備,および静電ロケットエンジン(マイクロスラスタ)と同様に宇宙船のポテンシャルを制御および中和するためのシステムを含む,EHDエミッタを有するイオン源のための最新の応用領域である。著者らは,EHDエミッタ自身とそれらに基づく機器の更なる開発のための展望を分析した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (4件):
分類
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ロケットエンジン  ,  電子ビーム,イオンビーム  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  電磁流体力学 
タイトルに関連する用語 (3件):
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