特許

J-GLOBAL ID：202103000059521889

光学測定装置、光学測定方法、及び光学測定プログラム

発明者： 住原 花奈 ,  岡野 真人 ,  渡邉 紳一 ,  稲場 肇 ,  大久保 章
出願人/特許権者： 学校法人慶應義塾 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-059885
公開番号（公開出願番号）：特開2021-156828
出願日： 2020年03月30日
公開日（公表日）： 2021年10月07日
要約：

【課題】試料の加工なしに位相の不定性問題を解決し、測定対象物の複素屈折率の実部と虚部、及び厚さを、精度よく計測する技術を提供する。【解決手段】光学装置は、複数の周波数を含む光を出力する光源と、試料を透過した前記光の信号を検出する検出器と、検出された前記信号を解析するプロセッサと、を有し、前記プロセッサは、前記信号の位相と振幅から、前記試料のパワー透過率と、測定位相差を求め、前記試料の複素屈折率の周波数依存性の振動を最小にする前記試料の厚さと、前記測定位相差の位相シフト量(2πM)を示す整数(M)を順次、または同時に特定し、前記整数(M)を含む位相差、前記厚さ、及び前記パワー透過率に基づいて、前記試料の複素屈折率の実部と虚部を算出する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

複数の周波数を含む光を出力する光源と、 試料を透過した前記光の信号を検出する検出器と、 検出された前記信号を解析するプロセッサと、 を有し、 前記プロセッサは、前記信号の位相と振幅から、前記試料のパワー透過率と、測定位相差を求め、 前記試料の複素屈折率の周波数依存性の振動を最小にする前記試料の厚さと、前記測定位相差の位相シフト量を示す整数を順次、または同時に特定し、 前記整数を含む位相差、前記厚さ、及び前記パワー透過率に基づいて、前記試料の複素屈折率の実部と虚部を算出する 光学測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/41 ,  G01J 9/00

FI (2件)：

G01N21/41 Z ,  G01J9/00

Fターム (13件)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM10