特許
J-GLOBAL ID：202103000236975143
外観検査装置、外観検査システム、特徴量推定装置および外観検査プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-221989
公開番号（公開出願番号）：特開2021-092887
出願日： 2019年12月09日
公開日（公表日）： 2021年06月17日
要約：
【課題】ニューラルネットワークを用いて高速かつ精度よく外観検査を実行できる外観検査装置、外観検査システム、特徴量推定装置および外観検査プログラムを提供する。【解決手段】識別器は、検査対象が検査位置に到達するとS501:YES、検査対象を撮影してS502、検査画像を生成しS503、当該検査画像に欠陥が写っているか判定する。欠陥が写っている場合にはS504:YES、CNNを用いて欠陥サイズを判定するS505。当該CNNは、検査画像を入力としてセマンティックセグメンテーションを行うことなく、画像に写っている欠陥のサイズがどのクラスに属するかの確率を出力し、計算量が抑制される。欠陥サイズが閾値φthよりも大きい場合にはS506:YES、修正が必要と記録するS507。判定した欠陥サイズが閾値φth以下である場合にはS506:NO、修正が不要と記録するS508。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
欠陥が写った被検査画像を用いて検査対象の外観を検査する外観検査装置であって、
学習用検査画像と、当該学習用検査画像に写った欠陥の程度と複数クラスのそれぞれとの関連度と、を教師データとして機械学習された検査モデルを用いて、被検査画像からクラスごとの関連度を出力する検査手段と、
前記検査手段が出力したクラスごとの関連度の高さから、当該被検査画像に写っている欠陥の程度を推定する欠陥推定手段と、を備える
ことを特徴とする外観検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096CA05
, 5L096DA02
, 5L096FA64
, 5L096GA51
, 5L096HA09
, 5L096HA11
, 5L096JA11
, 5L096JA18
, 5L096KA04
, 5L096KA15
