特許
J-GLOBAL ID：202103000679048547
微粒子測定方法、微粒子測定システム及び試料前処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-068500
公開番号（公開出願番号）：特開2021-165657
出願日： 2020年04月06日
公開日（公表日）： 2021年10月14日
要約：
【課題】液体に分散した微粒子の個数を客観的に正確に測定する。【解決手段】試料前処理装置10において、基材上に液滴が滴下される。液滴の凍結及び乾燥により、基材上に液滴痕が生じる。一方、試料前処理装置10では、液滴の質量又は体積が物理量として測定される。電子顕微鏡232により液滴痕を観察することにより得られた画像が解析され、液滴痕像に含まれる微粒子像の個数が微粒子数として演算される。微粒子像を物理量で割ることにより個数濃度が演算される。複数の微粒子サイズに対応した複数の個数濃度から個数濃度分布236が生成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ノズルから基材に対して液滴を噴射する噴射工程と、
前記基材上に付着した液滴の処理により前記基材上に液滴痕を生じさせる処理工程と、
前記ノズルから噴射される液滴についての質量又は体積を物理量として測定する測定工程と、
前記液滴痕の観察により画像を取得する観察工程と、
前記画像に含まれる液滴痕像に属する微粒子像の個数を微粒子数として計数する計数工程と、
前記微粒子数及び前記物理量に基づいて個数濃度を演算する演算工程と、
を含むことを特徴とする微粒子測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N1/00 101K
, G01N15/02 B
2G052AD09
, 2G052AD29
, 2G052AD52
, 2G052CA04
, 2G052CA18
, 2G052EB01
, 2G052EB08
, 2G052FD18
, 2G052GA31
, 2G052GA33
, 2G052HA02
, 2G052HA03
, 2G052HA12
, 2G052HA14
, 2G052HC07
, 2G052HC34
