特許
J-GLOBAL ID：202103001783521439
照明装置及び方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-506258
特許番号：特許第6806236号
出願日： 2018年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マスクを照明する照明装置であって、
照明光を発生する光源と、
前記照明光の傾き角を調整する光学系と、
前記光学系を介した前記照明光を集光する第1集光光学系と、
前記光学系を介した前記照明光を、前記照明光の前記傾き角を維持して前記第1集光光学系に射出する光学部材と、
前記第1集光光学系から射出した前記照明光の開口数を調整する開口絞りと、
開口数が調整された前記照明光を前記マスクに導く第2集光光学系と、
を備え、
前記光学部材は、前記光学系を介した前記照明光を、前記照明光の前記傾き角を維持して複数の光束に分岐し、
前記第1集光光学系、前記開口絞り、及び前記第2集光光学系を、前記光学部材で分岐される前記複数の光束に対応して複数組備え、
前記マスクの複数の照明領域を照明する、照明装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G02B 19/00 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, G02B 19/00
