特許
J-GLOBAL ID：202103002040060336
オンデマンド充填アンプルの補充
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-096649
公開番号（公開出願番号）：特開2017-014614
特許番号：特許第6821327号
出願日： 2016年05月13日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板処理装置のアンプルを充填するための方法であって、
(a)前記アンプルに液体前駆体を充填するためのアンプル充填開始条件が満たされているか判断するステップと、
(b)前記アンプルに前駆体を充填するステップであって、前記アンプルに前記前駆体を充填することが、少なくとも1つの他の基板処理操作と同時に行われる、ステップと、
(c)前記アンプル内のセンサレベルが前記アンプルが満杯ではないことを示すか判断するステップであって、前記アンプル内のセンサレベルが前記アンプルが満杯であることを示す場合に、一次充填停止条件が満たされるステップと、
(d)前記アンプルの充填の累積充填時間を維持するステップであって、前記アンプルの充填の前記累積充填時間は、前記アンプルの充填の前記累積充填時間が最後にリセットされてからの、前記前駆体が前記アンプルへ流れる時間のすべてであり、前記アンプル内のセンサレベルが前記アンプルが満杯であることを示す場合に、前記アンプルの充填の前記累積充填時間はリセットされる、ステップと、
(e)二次充填停止条件が満たされているか判断するステップであって、前記二次充填停止条件は、充填の前記累積充填時間が閾値を超えるという判断を含む、ステップと、
(f)前記二次充填停止条件が満たされているという判断に応答して、および前記アンプル内のセンサレベルが前記アンプルが満杯ではないことを示すという判断に応答して、前記アンプルへの前記前駆体の充填を中止するステップと、を含む方法。
IPC (4件)：
C23C 16/448 ( 200 6.01)
, C23C 16/52 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
C23C 16/448
, C23C 16/52
, H01L 21/205
, H01L 21/302 101 G
