特許
J-GLOBAL ID：202103002259667694

広範囲マイクロ圧力センサ

発明者：
マーシュ, スティーブン アラン

マーシュ, スティーブン アラン について


出願人/特許権者：
エンサイト エルエルシー

エンサイト エルエルシー について


代理人 (5件)： 山本 秀策 ,  森下 夏樹 ,  飯田 貴敏 ,  石川 大輔 ,  山本 健策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-524073
公開番号（公開出願番号）：特表2021-501324
出願日： 2018年10月22日
公開日（公表日）： 2021年01月14日
要約：
異なる圧力範囲にわたって動作可能である複数のモジュールを含むマイクロ圧力センサが開示される。モジュールは、少なくとも2つのモジュール層の積み重ねを含み、それぞれのモジュール層は、区画を画定する壁を有するモジュールを含み、画定された区画は、少なくとも2つのサブ区画へ仕切られ、流体の進入又は退出のためのポートは、ボディの第1の壁内に配置され、残りの壁は中実な壁であり、膜は、区画を覆うモジュールボディの第1の表面へ添付され、且つ、電極は膜の表面上へ添付される。
請求項（抜粋）：
複数のモジュールステージを備える圧力センサであって、前記複数のモジュールステージのうちの少なくとも1つは、第1の圧力範囲にわたって動作可能であり、前記複数のモジュールステージのうちの少なくとも1つの他のモジュールステージは、第2の異なる圧力範囲にわたって動作可能であり、それぞれのモジュールステージは、 少なくとも2つのモジュール層の積み重ねを備え、それぞれのモジュール層は、 区画を画定する壁を有するモジュールボディであって、前記画定される区画は少なくとも2つのサブ区画へ仕切られる、モジュールボディと、 前記モジュールボディの第1の壁内に配置される流体の進入又は退出のためのポートであって、前記モジュールボディの残りの壁は中実である、ポートと、 前記区画を覆う前記モジュールボディの第1の表面へ添付される膜と、 前記膜の表面上に添付される電極と を備える、圧力センサ。
IPC (1件)：
G01L 9/00
FI (2件)：
G01L9/00 305Z ,  G01L9/00 305B
Fターム (7件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF07 ,  2F055GG11
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-082551   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
  • 真空センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-254991   出願人：江刺正喜, 株式会社リケン
  • 特表平6-507487

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