特許
J-GLOBAL ID:202103002828116049
共振器キャビティ構造
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
野田 茂
, 舘野 千惠子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-230901
公開番号(公開出願番号):特開2018-087734
特許番号:特許第6795135号
出願日: 2016年11月29日
公開日(公表日): 2018年06月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具であって、
1以上3以下の誘電率を有し10μm以上300μm以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、
0.5μm以上50μm以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、
前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致している、
ことを特徴とする平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具。
IPC (2件):
G01R 27/26 ( 200 6.01)
, G01R 35/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01R 27/26 H
, G01R 35/00 J
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