特許

J-GLOBAL ID：202103003264022770

基板および電子素子

発明者： 岡田 政也 ,  三橋 史典 ,  舘野 泰範 ,  上野 昌紀
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (2件)： 北野 修平 ,  田中 勝也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-234450
公開番号（公開出願番号）：特開2017-165642
特許番号：特許第6787088号
出願日： 2016年12月01日
公開日（公表日）： 2017年09月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1主面を有し、少なくとも前記第1主面を含む表層領域が二硫化モリブデン、二硫化タングステン、二硫化ニオブおよび窒化アルミニウムからなる群から選択されるいずれか1つの材料からなる支持基板と、 前記第1主面上に配置され、前記表層領域を構成する材料の原子配列に対して配向する原子配列を有するグラフェン膜と、を備える、基板。

IPC (5件)：

C01B 32/182 ( 201 7.01) ,  H01L 29/786 ( 200 6.01) ,  H01L 21/336 ( 200 6.01) ,  H01L 51/05 ( 200 6.01) ,  H01L 51/30 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C01B 32/182 ,  H01L 29/78 618 B ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/28 100 A ,  H01L 29/28 250 E