特許
J-GLOBAL ID:202103003580934080

形状測定装置および形状測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小谷 悦司 ,  小谷 昌崇 ,  西谷 浩治
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-042109
公開番号(公開出願番号):特開2019-158406
特許番号:特許第6976886号
出願日: 2018年03月08日
公開日(公表日): 2019年09月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 撮像範囲が並べられて設定されており、一体的に移動可能な複数の撮像部と、 並べられた前記撮像範囲で測定範囲が覆われた状態となる前記測定範囲の第1撮像位置に、複数の前記撮像部が位置した状態で、前記測定範囲の部分である部分範囲と、前記部分範囲の断面形状を求めるための複数の測定点との位置ズレ量の平均値を算出する第1処理を、前記測定範囲を複数に分けてできた複数の前記部分範囲のそれぞれについて実行する第1算出部と、 前記部分範囲と複数の前記測定点との位置ズレ量が、前記第1撮像位置から見て、前記平均値だけ小さくなる方向に、複数の前記撮像部を一体的に移動させ、そして、前記撮像範囲に前記部分範囲を含む前記撮像部に、前記部分範囲の画像を撮像させる第1制御を、複数の前記部分範囲のそれぞれについて実行する制御部と、 前記第1制御によって撮像された前記部分範囲の画像を基にして、前記部分範囲の断面形状を算出する第2処理を、複数の前記部分範囲のそれぞれについて実行する第2算出部と、を備える形状測定装置。
IPC (1件):
G01B 11/245 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01B 11/245 H

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