特許

J-GLOBAL ID：202103003886754817

加速度計の残留電圧自己試験

発明者： ガフォレッリ ジャコモ ,  コロナート ルカ ,  ジャンバスティアニ アドルフォ
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人北斗特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-529933
特許番号：特許第6802843号
出願日： 2016年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 加速度計上の残留電圧を識別するためのシステムであって、 平面基板面を有する基板と、 前記平面基板面の反対側にある1つ以上の平面プルーフマス面を有する1つ以上のプルーフマスと、 前記平面基板面上でかつ前記1つ以上のプルーフマス面と反対側に配置された1つ以上のセンス電極であって、前記1つ以上のセンス電極の各々が、前記1つ以上のプルーフマスのうちの1つと静電容量を構成し、前記静電容量が、前記1つ以上のセンス電極と前記1つ以上の平面プルーフマス面との距離によって変化する、1つ以上のセンス電極と、 前記平面基板面上でかつ前記1つ以上のプルーフマス面と反対側に配置され、前記1つ以上のプルーフマスに補助信号を印加する1つ以上の補助電極であって、前記補助信号が、第1調波周波数を有し、前記残留電圧が前記1つ以上のプルーフマス上又は前記1つ以上のセンス電極上にあるときに、前記第1調波周波数で前記センス電極によって検出された前記補助信号に対する応答が、検出しきい値より大きくなるように配置された1つ以上の補助電極と、 を含む、 システム。

IPC (6件)：

G01P 21/00 ( 200 6.01) ,  G01P 15/125 ( 200 6.01) ,  G01P 15/08 ( 200 6.01) ,  B81B 7/02 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G01P 21/00 ,  G01P 15/125 Z ,  G01P 15/08 101 B ,  B81B 7/02 ,  B81B 3/00 ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 複合センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-018038   出願人：日立オートモティブシステムズ株式会社