特許
J-GLOBAL ID：202103004029509570
配線回路基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
岡本 寛之
, 宇田 新一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-132047
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006584
特許番号：特許第6802650号
出願日： 2016年07月01日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁層と、互いに間隔を隔てて隣り合う第1配線および第2配線とを備える配線回路基板の製造方法であり、
斜面を有する前記絶縁層を設ける工程1と、
金属薄膜を、前記絶縁層の表面に設ける工程2と、
フォトレジストを前記金属薄膜の表面に設ける工程3と、
フォトマスクを、前記フォトレジストにおいて前記第1配線に対応する第1露光部分と、前記フォトレジストにおいて前記第2配線に対応する第2露光部分とが露光されるように配置して、前記フォトレジストを、前記フォトマスクを介して露光する工程4と、
前記フォトレジストの前記第1露光部分および前記第2露光部分を除去して、前記第1露光部分および前記第2露光部分に対応する前記金属薄膜を露出させる工程5と、
前記第1配線および前記第2配線を、前記金属薄膜の表面に設ける工程6とを備え、
前記工程4において、前記金属薄膜において反射した反射光が、前記フォトレジストにおける前記第1露光部分および前記第2露光部分の間に集光すると仮定する場合に、前記斜面は、前記フォトレジストにおける集光に起因して前記工程5において除去される部分が前記第1露光部分および前記第2露光部分に連続するような、平面視において一方向に曲がる曲り部を有し、
前記第2露光部分は、平面視において、
前記曲り部を回避する回避部と、
前記斜面における前記曲り部以外の少なくとも一部と重複する重複部と
を連続して有し、
前記第2配線は、前記回避部に対応する重複回避部を有し、
前記第1配線と、前記重複回避部との間隔が、100μm以下であり、
前記工程6で設けられる前記第1配線と前記第2配線との間の短絡が防止されることを特徴とする、配線回路基板の製造方法。
IPC (4件)：
H05K 3/42 ( 200 6.01)
, G11B 5/60 ( 200 6.01)
, G11B 21/21 ( 200 6.01)
, H05K 3/44 ( 200 6.01)
H05K 3/42 620 B
, G11B 5/60 P
, G11B 21/21 C
, H05K 3/44 A
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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