特許
J-GLOBAL ID:202103004599041946
圧電アクチュエータ
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-186753
公開番号(公開出願番号):特開2018-056162
特許番号:特許第6813318号
出願日: 2016年09月26日
公開日(公表日): 2018年04月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 対向する第1の面および第2の面にそれぞれ表面電極を有する直方体状の圧電素子と、該圧電素子の前記第1の面に接合された、前記圧電素子よりも長手方向に長いシム板とを備え、該シム板は、シム板本体と、該シム板本体の前記圧電素子に対向する面に設けられて前記第1の面にある表面電極と電気的に接続されたシム電極とを有しており、
前記シム電極は、前記シム板本体と前記圧電素子との間に介在された第1領域および前記シム板本体と前記圧電素子との間から前記長手方向に延出されて露出している第2領域を有し、前記第1領域にスリットを有しており、該スリットの外縁は凹凸形状になっていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件):
H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/083 ( 200 6.01)
, H02N 2/04 ( 200 6.01)
FI (4件):
H01L 41/047
, H01L 41/09
, H01L 41/083
, H02N 2/04
引用特許: