特許
J-GLOBAL ID:202103005178776650

光検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 矢作 和行 ,  野々部 泰平 ,  久保 貴則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-015008
公開番号(公開出願番号):特開2021-121789
出願日: 2020年01月31日
公開日(公表日): 2021年08月26日
要約:
【課題】小型化を容易に実現可能な構成の光検出装置を提供する。【解決手段】光検出装置10は、投光ビームPBを外部の測定領域MAへ向けて走査し、投光ビームPBに対する測定領域MAからの反射ビームRBを検出する。光検出装置10は、投光光軸POAを形成し、投光ビームPBを投光する投光光学系26と、受光光軸ROAを形成し、反射ビームRBを受光する受光光学系49と、投光光学系26及び受光光学系49が収容されている収容室13と、両ビームPB,RBを収容室13と測定領域MAとの間にて往復させる光学窓14とを有する筐体11と、を備える。投光光軸POAと受光光軸ROAとを互いにずらした形態にて、投光ビームPBと反射ビームRBとは、フットプリントPF,RFを重複させた重複領域OLを収容室13の内部において有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
投光ビーム(PB)を外部の測定領域(MA)へ向けて走査し、前記投光ビームに対する前記測定領域からの反射ビーム(RB)を検出する光検出装置であって、 投光光軸(POA)を形成し、前記投光ビームを投光する投光光学系(26)と、 受光光軸(ROA)を形成し、前記反射ビームを受光する受光光学系(49)と、 前記投光光学系及び前記受光光学系が収容されている収容室(13)と、両前記ビームを前記収容室と前記測定領域との間にて往復させる光学窓(14)とを有する筐体(11)と、を備え、 前記投光光軸と前記受光光軸とを互いにずらした形態にて、前記投光ビームと前記反射ビームとは、フットプリント(PF,RF)を重複させた重複領域(OL)を前記収容室の内部において有する光検出装置。
IPC (1件):
G01S 7/481
FI (1件):
G01S7/481 A
Fターム (17件):
5J084AA05 ,  5J084AB01 ,  5J084AB07 ,  5J084AB16 ,  5J084AC02 ,  5J084AD01 ,  5J084BA04 ,  5J084BA36 ,  5J084BA40 ,  5J084BA49 ,  5J084BB02 ,  5J084BB04 ,  5J084BB28 ,  5J084CA03 ,  5J084DA01 ,  5J084EA22 ,  5J084EA31
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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