特許

J-GLOBAL ID：202103005187940217

ポリッシングパッドの製造方法

発明者： 大石 邦晴 ,  海野 達広
出願人/特許権者： 株式会社大輝
代理人 (1件)： 久米川 正光
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018043989
公開番号（公開出願番号）：WO2020-110258
出願日： 2018年11月29日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：

任意のサイズを設定でき、かつ、研磨装置への取り付けが容易なポリッシングパッドを提供する。ポリッシングパッド(1)は、複数のパッド片(3a〜3f)と、複数の接合部と、複数の溝部(2)とを有する。パッド片(3a〜3f)は、ポリッシングパッド(1)を複数の領域に分割した面形状をそれぞれが有し、これらを組み合わせることによって、全体として研磨層を構成する。接合部は、パッド片(3a〜3f)の接合境界(B)に沿って設けられ、隣り合ったパッド片の端面同士を一体不可分に接合する。複数の溝部(2)は、研磨層の表面に筋状に陥没して設けられ、少なくとも一部が、接合境界(B)(接合部)と位置的に対応している。

請求項（抜粋）：

ポリッシングパッドにおいて、 前記ポリッシングパッドを複数の領域に分割した面形状をそれぞれが有し、これらを組み合わせることによって、全体として研磨層を構成する複数のパッド片と、 前記複数のパッド片の接合境界に沿って設けられ、隣り合ったパッド片の端面同士を一体不可分に接合する複数の接合部とを有することを特徴とするポリッシングパッド。

IPC (3件)：

B24B 37/24 ,  B24B 37/26 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/24 A ,  B24B37/26 ,  H01L21/304 622F

Fターム (18件)：

3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CA01 ,  3C158CB04 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB06 ,  3C158EB28 ,  3C158EC02 ,  5F057AA24 ,  5F057BA11 ,  5F057BB11 ,  5F057DA02 ,  5F057EB06 ,  5F057EB08 ,  5F057EB30 ,  5F057FA25 ,  5F057FA30