特許

J-GLOBAL ID：202103005785922940

金属表面上のエッチレジストパターンの製造方法

発明者： フレンケル、モシェ ,  シュパイスマン、ナバ
出願人/特許権者： カティーバ, インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 岡東 保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-515364
特許番号：特許第6944197号
出願日： 2016年06月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 方法であって、 第1の反応性ポリマー成分を含む第1の水性組成物を基板の金属層上に堆積させるステップと、 堆積された前記第1の水性組成物の選択された部分上に第2の反応性ポリマー成分を含む第2の水性組成物を堆積させて、前記第1の反応性ポリマー成分と前記第2の反応性ポリマー成分との間の化学反応により、前記金属層の選択された領域を保護するためのパターンで二成分材料マスクを形成するステップと、 エッチ溶液を堆積させて、前記二成分材料マスクによって保護されていない領域の前記金属層を除去するステップと、 前記エッチ溶液を堆積させるステップの後に、前記二成分材料マスクを除去するステップと、を含むことを特徴とする方法。

IPC (6件)：

H05K 3/06 ( 200 6.01) ,  C23F 1/00 ( 200 6.01) ,  B05D 1/26 ( 200 6.01) ,  B05D 1/36 ( 200 6.01) ,  B05D 7/14 ( 200 6.01) ,  B05D 7/24 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H05K 3/06 L ,  H05K 3/06 E ,  C23F 1/00 102 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 1/36 Z ,  B05D 7/14 Z ,  B05D 7/24 301 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジェット吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-004344   出願人：三星電機株式会社
• インクジェット記録方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-196350   出願人：コニカ株式会社