半導体装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：新居広守 , 寺谷英作 , 道坂伸一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018040887
公開番号（公開出願番号）：WO2019-202760
出願日： 2018年11月02日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
要約：

積層形成された第1および第2の導電性プレート(FFP14および19)を備えた半導体装置において、第1の導電性プレートと第2の導電性プレートは並進するソース領域(9)とドレイン領域(8)の対向する長さが最も長い長手方向に沿って対向して延伸する直線領域を備えるとともに、長手方向と直交する短手方向に延伸している。ここで、ソース配線(21)およびドレイン配線(22)のどちらか一方の高電圧配線は、第1の導電性プレートおよび第2の導電性プレートの直線領域と交差するように短手方向に延伸しており、ソース配線(21)およびドレイン配線(22)の他方の低電圧配線は、第1の導電性プレートまたは第2の導電性プレートの少なくとも1つの直線領域と交差するように短手方向に延伸している。

請求項（抜粋）：

支持基板の一主面側の上部に形成された半導体層と、前記半導体層の上部に形成された第1導電型のボディ領域と、前記半導体層の上部に、前記ボディ領域から離間して形成された第2導電型のドレイン領域と、前記ボディ領域の表面に形成された第2導電型のソース領域と、前記半導体層内における前記ドレイン領域と前記ボディ領域との間に形成された第2導電型のドリフト領域と、前記半導体層の表面における前記ボディ領域と前記ドレイン領域との間に前記ドリフト領域上と重なるように形成された第1の絶縁体領域と、前記半導体層の表面における前記ボディ領域上の一部から前記第1の絶縁体領域の端部まで形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上と前記第1の絶縁体領域上に跨って形成されたゲート電極と、前記第1の絶縁体領域上で前記ゲート電極と前記ドレイン領域の間に形成されて電気的にフローティング状態である少なくとも1つの第1の導電性プレートと、前記第1の絶縁体領域上と前記ゲート電極上と前記第1の導電性プレート上に形成された第2の絶縁体領域と、前記第2の絶縁体領域上で、少なくとも前記ゲート電極および第1の導電性プレートの形成されていない上方に形成された電気的にフローティング状態である少なくとも1つの第2の導電性プレートと、前記第2の絶縁体領域上と前記ゲート電極上と前記第2の導電性プレート上に形成された第3の絶縁体領域と、前記第3の絶縁体領域上に形成され、前記ソース領域と電気的に接続されたソース配線と、前記第3の絶縁体領域上に形成され、前記ドレイン領域と電気的に接続されたドレイン配線とを備え、平面視において、前記ソース領域と前記ドレイン領域は、対向する長さが最も長い方向である長手方向に沿って延伸するとともに、前記長手方向と直交する方向である短手方向に並んで配置されており、平面視において、前記第1の導電性プレートと前記第2の導電性プレートは、前記長手方向に沿って対向して延伸する直線領域と、前記長手方向での直線領域の終端部を折れ線もしくは円弧状に結ぶ曲線領域を有し、平面視において、前記ソース配線および前記ドレイン配線のどちらか一方の高電圧配線は、前記第1の導電性プレートおよび前記第2の導電性プレートの直線領域と交差するように短手方向に延伸しており、前記ソース配線および前記ドレイン配線の他方の低電圧配線は、前記第1の導電性プレートおよび前記第2の導電性プレートの少なくとも1つの直線領域と交差するように短手方向に延伸している半導体装置。

IPC (4件)：

H01L 21/336 , H01L 29/78 , H01L 29/06 , H01L 29/786

FI (5件)：

H01L29/78 301D , H01L29/06 301F , H01L29/78 626C , H01L29/78 617K , H01L29/78 616A

Fターム (27件)：

5F110BB12 , 5F110CC02 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110EE24 , 5F110EE31 , 5F110FF12 , 5F110GG02 , 5F110GG23 , 5F110HM02 , 5F110HM04 , 5F110HM12 , 5F110HM15 , 5F110HM17 , 5F110NN65 , 5F140AA25 , 5F140AC01 , 5F140AC21 , 5F140AC36 , 5F140BF54 , 5F140BH04 , 5F140BH30 , 5F140BH34 , 5F140BH43 , 5F140BH45 , 5F140CB01 , 5F140CD09

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