吸着圧力分布の測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人青莪
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-252406
公開番号（公開出願番号）：特開2018-105722
特許番号：特許第6917706号
出願日： 2016年12月27日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数個の磁石を列設してなる磁石アレイによって金属箔を吸着したときの吸着圧力の分布を測定するための吸着圧力分布の測定方法であって、磁石アレイ上に、支持体を介して金属箔を設置することで、各磁石からの磁力で支持体上面に金属箔を吸着保持させる工程と、支持体から金属箔に向けて気体圧力を付与し、金属箔に対しその下面の所定範囲全体に亘って同等の抗力を作用させる工程と、抗力が作用する金属箔の範囲にてこの金属箔の変位量を測定し、この測定した変位量から吸着圧力の分布を得る工程とを含むことを特徴とする測定方法。

IPC (1件)：