特許
J-GLOBAL ID：202103007318205308
ネガ型樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人池内アンドパートナーズ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-242411
公開番号（公開出願番号）：特開2017-120400
特許番号：特許第6824719号
出願日： 2016年12月14日
公開日（公表日）： 2017年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記式(I)で表される化合物(成分A)、アミン(成分B)、炭素数1以上5以下のカルボン酸又はその塩(成分C)、及び水(成分D)を含有し、
成分Aの含有量が、成分Aと成分Bと成分Cとの合計量に対して、10質量%以上57.5質量%以下であり、
成分Bの含有量が、成分Aと成分Bと成分Cとの合計量に対して、20質量%以上75質量%以下であり、
成分Cの含有量が、成分Aと成分Bと成分Cとの合計量に対して、4質量%以上20質量%以下であり、
成分Aが、ジメチルビス(2-ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシドを含有する、ネガ型樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物。
上記式(I)において、R1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、プロピル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基及びヒドロキシプロピル基から選ばれる少なくとも1種であり、かつ、R1、R2、R3及びR4の少なくとも二つが、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基及びヒドロキシプロピル基から選ばれる少なくとも1種である。
IPC (4件)：
G03F 7/42 ( 200 6.01)
, C11D 7/32 ( 200 6.01)
, C11D 7/26 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
G03F 7/42
, C11D 7/32
, C11D 7/26
, H01L 21/304 647 A
