特許

J-GLOBAL ID：202103007871204514

ターゲット容器、成膜方法、ターゲット容器製造方法、及び、圧力センサー

発明者： 吉門 進三 ,  大鉢 忠 ,  竹本 菊郎 ,  宇野 裕行 ,  木村 直人 ,  高崎 正規
出願人/特許権者： 学校法人同志社 ,  大鉢 忠 ,  ヤマナカヒューテック株式会社
代理人 (1件)： 前井 宏之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-008636
公開番号（公開出願番号）：特開2021-116437
出願日： 2020年01月22日
公開日（公表日）： 2021年08月10日
要約：

【課題】基板に形成される膜に不純物が混入することを効果的に抑制できるターゲット容器を提供する。【解決手段】ターゲット容器100は、凹部3と、本体部1とを備える。凹部3には、スパッタリングターゲットTAである粉体材料MTが配置されることが可能である。本体部1には、凹部3が形成される。凹部3は、凹部本体33と、第1コーティング層31とを含む。第1コーティング層31は、凹部本体33を覆い、粉体材料MTに接触することが可能である。凹部本体33は、第1コーティング層31と異なる成分を有する。第1コーティング層31は、粉体材料MTと同じ成分からなるか、粉体材料MTに含まれる固体材料と同じ成分からなるか、粉体材料MTに含まれる固体材料と同じ成分と気体との化合物からなるか、又は、粉体材料MTと同じ成分と気体との化合物からなる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

スパッタリングターゲットである粉体材料が配置されることの可能な凹部と、 前記凹部が形成された本体部と を備え、 前記凹部は、 凹部本体と、 前記凹部本体を覆い、前記粉体材料に接触することの可能な第1コーティング層と を含み、 前記凹部本体は、前記第1コーティング層と異なる成分を有し、 前記第1コーティング層は、前記粉体材料と同じ成分からなるか、前記粉体材料に含まれる固体材料と同じ成分からなるか、前記粉体材料に含まれる固体材料と同じ成分と気体との化合物からなるか、又は、前記粉体材料と同じ成分と気体との化合物からなる、ターゲット容器。

IPC (6件)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/285 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/316 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

C23C14/34 C ,  C23C14/34 B ,  H01L21/285 S ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/22

Fターム (31件)：

4K029AA02 ,  4K029AA26 ,  4K029BA58 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  4K029DC12 ,  4K029DC21 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  4K029EA08 ,  4M104AA04 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD37 ,  4M104DD39 ,  4M104DD40 ,  4M104DD42 ,  4M104HH04