特許

J-GLOBAL ID：202103008414679031

検査装置及び検査方法

発明者： 岩見 功司 ,  岸田 陽一
出願人/特許権者： 日本電産リード株式会社
代理人 (1件)： 青山 耕三
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018043597
公開番号（公開出願番号）：WO2019-130952
出願日： 2018年11月27日
公開日（公表日）： 2019年07月04日
要約：

検査装置1において、第一測距センサ11で計測した基板100の上面101までの距離である第一基板距離Db1と、第一測距センサ11で計測した第二治具32の検査面32Pまでの距離である第二治具距離Dj2と、に基づいて、第二治具32と上面101との距離である第二距離D2を算出し、第二測距センサ12で計測した下面102までの距離である第二基板距離Db2と、第二測距センサ12で計測した第一治具31の検査面31Pまでの距離である第一治具距離Dj1と、に基づいて、第一治具31と下面102との距離である第一距離D1を算出し、第一距離D1及び第二距離D2に基づいて、第一治具31及び第二治具32の、基板100に対する変位量を設定する。

請求項（抜粋）：

第一面と第二面とを備えた薄板状の検査対象物である被検査基板を、前記第一面側から近接する第一治具と、前記第二面側から近接する第二治具と、で挟み込んで導通検査を行う検査装置であって、 前記第一治具と一体的に、前記第二治具側に向けて固定される、第一測距センサと、 前記第二治具と一体的に、前記第一治具側に向けて固定される、第二測距センサと、 前記第一測距センサで計測した前記第一面までの距離である第一基板距離と、前記第一測距センサで計測した前記第二治具までの距離である第二治具距離と、に基づいて、前記第二治具と前記第一面との距離である第二距離を算出する、第二距離算出部と、 前記第二測距センサで計測した前記第二面までの距離である第二基板距離と、前記第二測距センサで計測した前記第一治具までの距離である第一治具距離と、に基づいて、前記第一治具と前記第二面との距離である第一距離を算出する、第一距離算出部と、 前記第一距離及び前記第二距離に基づいて、前記第一治具及び前記第二治具の、前記被検査基板に対する変位量を設定する、変位量設定部と、を備える、検査装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 B

Fターム (10件)：

2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065CC01 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065MM07 ,  2F065PP04 ,  2F065PP22