インプリント用光硬化性組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人はなぶさ特許商標事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018047274
公開番号（公開出願番号）：WO2019-142601
出願日： 2018年12月21日
公開日（公表日）： 2019年07月25日
要約：

【課題】光学特性が優れ、インプリント後の支持体の反り量が従来よりもはるかに小さい、高弾性率の硬化物(成形体)を形成できるとともに、熱処理によって該硬化物の上層の反射防止層にクラックが発生しない、光硬化性組成物を提供する。【解決手段】下記(a)成分、下記(b)成分、下記(c)成分、下記(d)成分及び下記(e)成分を含む、インプリント用光硬化性組成物。(a):1分子中に(メタ)アクリロイルオキシ基を少なくとも1つ有する脂環式(メタ)アクリレート化合物(ただし、(b)成分の化合物を除く。)(b):ウレタン(メタ)アクリレート化合物又はエポキシ(メタ)アクリレート化合物(c):一次粒子径が1nm乃至100nmの表面修飾されたシリカ粒子(d):下記式(1)で表される多官能チオール化合物(e):光ラジカル開始剤【化1】(式中、R1は単結合又は炭素原子数1乃至6の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基を表し、Xは単結合、エステル結合又はエーテル結合を表し、A1はヘテロ原子を少なくとも1つ含む若しくはヘテロ原子を含まない炭素原子数2乃至12の有機基、又はヘテロ原子を表し、r1は2乃至6の整数を表す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記(a)成分、下記(b)成分、下記(c)成分、下記(d)成分及び下記(e)成分を含み、該(a)成分、該(b)成分、該(c)成分及び該(d)成分の和100質量部に対して、該(a)成分が10質量部乃至50質量部、該(b)成分が20質量部乃至55質量部、該(c)成分が10質量部乃至35質量部、該(d)成分が1質量部乃至15質量部、及び該(e)成分が0.1質量部乃至5質量部である、インプリント用光硬化性組成物。 (a):1分子中に(メタ)アクリロイルオキシ基を少なくとも1つ有する脂環式(メタ)アクリレート化合物(ただし、(b)成分の化合物を除く。) (b):ウレタン(メタ)アクリレート化合物又はエポキシ(メタ)アクリレート化合物 (c):一次粒子径が1nm乃至100nmの表面修飾されたシリカ粒子 (d):下記式(1)で表される多官能チオール化合物 (e):光ラジカル開始剤

IPC (5件)：

C08G 75/045 , B29C 59/02 , H01L 21/027 , G02B 1/04 , G02B 3/00

FI (5件)：

C08G75/045 , B29C59/02 Z , H01L21/30 502D , G02B1/04 , G02B3/00 Z

Fターム (18件)：

4F209AA44A , 4F209AB04 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PJ06 , 4F209PN09 , 4J030BA05 , 4J030BB07 , 4J030BC21 , 4J030BC43 , 4J030BE02 , 4J030BG02 , 5F146AA33 , 5F146CA02 , 5F146DA02

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