特許
J-GLOBAL ID:202103008822898086
レーザー光照射方法、レーザー光照射装置、及びシート融着体の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人翔和国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-245871
公開番号(公開出願番号):特開2018-099698
特許番号:特許第6823448号
出願日: 2016年12月19日
公開日(公表日): 2018年06月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ガルバノミラー光学系を備えた照射ヘッドを制御して、光源から発せられたレーザー光を走査しながら被加工物へ照射するレーザー光照射方法であって、
開口部を有する支持部材上に前記被加工物を支持させた状態下、該支持部材の側から該開口部を通じ該被加工物に向けてレーザー光を照射して、該被加工物におけるレーザー光の照射状態を撮像装置によって撮像しながら該被加工物を加工する工程を有し、
前記照射方法においては、レーザー光の照射軸と前記撮像装置の光軸とが同軸となるように、レーザー光の前記光源及び前記撮像装置を配置しておき、
前記工程においては、前記被加工物におけるレーザー光の照射痕の画像及び前記支持部材の画像を、前記撮像装置によって前記同軸状態で同時に取得し、該支持部材における基準位置から該照射痕までの距離を求めることで、レーザー光の照射痕の位置のずれ量を取得可能とした、レーザー光照射方法。
IPC (5件):
B23K 26/03 ( 200 6.01)
, B23K 26/082 ( 201 4.01)
, B23K 26/00 ( 201 4.01)
, A61F 13/15 ( 200 6.01)
, A61F 13/496 ( 200 6.01)
FI (5件):
B23K 26/03
, B23K 26/082
, B23K 26/00 M
, A61F 13/15 355 C
, A61F 13/496 100
引用特許:
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